سلسلة EBE-V600 عبارة عن نظام أساسي للترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) على نطاق صناعي- مصمم لطلاء الأغشية الرقيقة-الدقيقة للمكونات البصرية، وأجهزة أشباه الموصلات، والمواد المتقدمة. من خلال توجيه شعاع إلكتروني عالي الطاقة-ومركّز مغناطيسيًا على المواد المصدرية داخل البوتقات المبردة بالماء-، يحقق النظام معدلات تبخر سريعة مع الحفاظ على الأحمال الحرارية معزولة عن جدران الحجرة.
تشتمل البنية على مصادر إلكترونية متعددة الجيوب ومستشعرات توازن دقيق لبلورات الكوارتز المزدوجة (QCM)، مما يضمن دقة الفيلم المتكافئ والتحكم المتسق في السُمك عبر الطبقات العازلة أو المعدنية المتعددة-.
المواصفات الفنية
|
المعلمة التقنية |
قيمة المواصفات |
|
هندسة الغرفة والمواد |
وعاء أسطواني Φ600 مم × 600 مم؛ الجزء الداخلي مصقول بالكهرباء SS304 مع سترات مياه تبريد خارجية |
|
الضغط الأساسي النهائي |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
قم بضخ-وقت الدورة لأسفل |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
قوة السلاح الإلكتروني |
تكوين جيوب متعددة من 6 كيلووات إلى 12 كيلووات-مع انحراف شعاع بمقدار 270 درجة |
|
قدرة الموقد بوتقة |
4 إلى 6 جيوب (بوتقات نحاسية/جرافيت قابلة للتبديل، بحجم 15 سم مكعب إلى 40 سم مكعب لكل جيب) |
|
دوران مرحلة الركيزة |
0 إلى 30 دورة في الدقيقة كوكبي متغير السرعة أو محرك مباشر |
|
نطاق تسخين الركيزة |
محيط حتى 600 درجة عبر PID مغلق-مصفوفة مصابيح الهالوجين الحلقية |
|
مراقبة السماكة |
مستشعرات QCM مزدوجة مع تحكم تلقائي في ردود فعل الغالق |
الميزات الرئيسية
انحراف مغناطيسي 270 درجة E-بندقية:يعزل خيوط التنغستن عن مسارات البخار المباشرة، مما يمنع -قصر الدائرة الكهربائية ويطيل عمر التشغيل بين فترات الصيانة.
التحكم في الاجتياح الرقمي:تقوم الأنماط النقطية القابلة للبرمجة بتوزيع طاقة الإلكترون بشكل موحد عبر سطح المبخر، مما يخفف من تكوين الثقب والتبخر التفضيلي أثناء ترسيب السبائك.
بنية الفراغ المنفصلة:يتم عزل خطوط ضخ الفراغ الخشنة والعالية- هيكليًا عن إطار الحجرة الرئيسية لمنع انتقال الاهتزاز الميكانيكي أثناء نمو الفيلم.
مصفوفة أمان تعشيق الأجهزة:مراقبة -PLC في الوقت الحقيقي لتدفق مياه التبريد، وردود الفعل من الجهد العالي-، والضغط الهوائي، وسلامة سدادة الباب.
تكوين نظام الفراغ
تم تصميم الدائرة الفرعية المفرغة- للتدوير السريع والضغط الأساسي المنخفض لتقليل دمج الغاز المتبقي (H2O، O2، N2) في الأفلام النامية:
مضخة فراغية عالية-:مضخة جزيئية توربينية بقوة 1200 لتر/ثانية- مدعومة بمضخة دوارة دوارة -مزدوجة المرحلة (أو تكوين مضخة تمرير جافة للامتثال لغرفة الأبحاث).
صمام العزل:صمام بوابة عالي التوصيل يتم تشغيله بالهواء المضغوط-ويعمل على عزل الحجرة أثناء عمليات التحميل.
قياس الفراغ:مقاييس تأين بيراني وكاثود بارد مشتركة تغطي نطاقًا مستمرًا من الغلاف الجوي إلى 10^-6 باسكال.
مواد الفيلم وركائز
مصادر التبخر المتوافقة
أكاسيد وعوازل:SiO2، TiO2، Ta2O5، Al2O3، HfO2
المعادن النقية:الاتحاد الأفريقي، حج، آل، تي، الكروم، حزب العمال، ني
أشباه الموصلات والموصلات:Si، Ge، ITO (أكسيد القصدير الإنديوم)
التطبيقات
مرشحات التداخل البصري:ترسيب مكدس الطبقات-العالي والمؤشر المنخفض-متعدد الطبقات-لمرشحات تمرير النطاق الضيق- ومرايا الليزر.
تصنيع جهاز أشباه الموصلات:تشكيل الاتصال الأومي وترسيب أكسيد البوابة وطبقات البذور المعدنية.
أبحاث شاشات OLED والشاشات:ترسيب الكاثود المعدني الرقيق واختبارات التخميل العضوية/غير العضوية متعددة الطبقات-.
الطلاءات المقاومة للحرارة الصلبة:طبقات مقاومة للتآكل-للمكونات الميكانيكية والفضائية.
التخصيص
توسيع الغرفة:ارتفاعات السفينة الممتدة أو الأشكال الهندسية المستطيلة المصممة لتكامل أدوات المجموعة.
تكامل المصدر:مصادر التبخر الحراري المتزامنة (القوارب المقاومة) مع مدافع شعاع الإلكترون.
أيون-الترسيب المساعد (IAD):تكامل نهاية-مصدر أيون هول أو كوفمان لتكثيف الفيلم وضبط الضغط.
هندسة البرمجيات:برمجة وصفة PLC/HMI المتوافقة مع أطر التشغيل الآلي Siemens S7 أو Beckhoff.
ضبط الجودة
اختبار تسرب الهيليوم بمطياف الكتلة:يتم اختبار كل غرفة لحام إلى حد رفض <1 × 10^-9 Pa·m3/s قبل التكامل.
الامتثال الكهربائي:-اختبارات تحمل العزل الكهربائي للجهد العالي والتحقق من استمرارية التأريض وفقًا لإرشادات CE/UL.
اختبار قبول المصنع (FAT):72-ساعة تجفيف متواصل-تشغيل اختبار تسجيل منحنيات الضغط الأساسي، وتكرار مسح الشعاع الإلكتروني، وأوقات استجابة التعشيق. يتم شحن وثائق الاختبار مع الوحدة.
التثبيت والدعم الفني
تشغيل الموقع:يقوم المهندسون المعتمدون في المصنع- بإدارة المحاذاة الميكانيكية، والتحقق من تسرب الفراغ، والإشراف على توصيلات المرافق، وعمليات المعايرة الأولية.
التدريب الفني:تدريب لمدة 3-يوم في الموقع على بروتوكول التشغيل والصيانة يغطي استبدال الخيوط وإعادة بناء صمامات التفريغ وتحرير الوصفات.
مخرجات التوثيق:المجلدات الفنية الكاملة بما في ذلك مخططات P&ID، ومخططات الأسلاك الكهربائية، وملفات النسخ الاحتياطي PLC، وتفصيل قطع الغيار.
الأسئلة المتداولة
س: ما هو العمر التشغيلي لخيوط egun tungsten- وكيف تتم صيانتها؟
ج: تحت ضغوط العمل القياسية (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
س: كيف يمنع النظام البصق أثناء ترسيب الأكسيد؟
ج: يقوم مولد المسح الرقمي بتوزيع طاقة الإلكترون عبر مصفوفة نقطية محسوبة على حبيبات الأكسيد. يؤدي هذا إلى التخلص من ارتفاع درجة الحرارة الموضعي، ويمنع الغليان المتفجر، ويمنع قذف القطيرات الصغيرة-.
س: ما هي البنى التحتية للمرافق الإلزامية في موقع التثبيت؟
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 لتر/دقيقة، درجة الحرارة 18 درجة إلى 25 درجة .
الشبكة الكهربائية: 3-طور، 380 فولت ± 10%، 50/60 هرتز (أو تم تكوينها في المصنع وفقًا للمعايير الإقليمية).
الهواء المضغوط: 0.5 ميجا باسكال إلى 0.7 ميجا باسكال هواء جاف لمشغلات الصمامات الهوائية.
س: هل الوصول للتشخيص عن بعد مدمج في نظام التحكم؟
ج: نعم. يدعم منفذ Ethernet المعزول اتصال VPN الآمن لاسترجاع سجل PLC عن بعد واستكشاف أخطاء البرامج وإصلاحها بواسطة فريقنا الهندسي.
الوسم : معدات الأغشية الرقيقة لتبخر شعاع الإلكترون، الشركات المصنعة لمعدات الأغشية الرقيقة لتبخر شعاع الإلكترون في الصين، الموردين، المصنع, نظام معالجة الأفلام الرفيع
