نظرة عامة على المنتج
نظام التبخر بالقوس الكاثودي الصناعي عبارة عن نظام أساسي لترسيب البخار الفيزيائي (PVD) بدرجة إنتاجية تم تصميمه لترسيب الطلاءات الصلبة المقاومة للتآكل-والتآكل-والمنخفضة-الاحتكاك. من خلال استخدام الأقواس الكهربائية ذات الجهد المنخفض-والتيار العالي-، يتم تبخير أهداف الكاثود الصلبة وتأيينها على الفور في بقعة الكاثود، مما يؤدي إلى توليد بلازما معدنية عالية التأين.
تم تصميم هذا النظام وتصنيعه وفقًا لمعايير إدارة الجودة ISO 9001 وتوجيهات الامتثال CE، وتم تكوينه لعمليات الطلاء عالية الإنتاجية-في تصنيع الأدوات ومكونات السيارات وقطاعات الأجهزة الصناعية. تتكامل التكوينات القياسية مع -تخطيطات الكاثود المتعددة مع التوجيه الميداني المغناطيسي المستقل-، وإمدادات الطاقة القابلة للبرمجة للتيار المباشر/النبضي، والتحكم الآلي في الفراغ للحفاظ على قياس العناصر المتفاعلة للفيلم بشكل متسق وبنى مجهرية كثيفة.
-
![نظام الأغشية الرقيقة لتبخر القوس]()
نظام الأغشية الرقيقة لتبخر القوستم تصميم نظام الأغشية الرقيقة للتبخير بالقوس الكاثودي الصناعي من أجل -ترسيب بمعدل عالٍ للطبقات المعدنية الكثيفة شديدة الالتصاق والسبائك والسيراميك. من خلال التشغيل من خلال -جهد كهربائي منخفض،...عرض المزيد -
![معدات PVD لتبخر القوس]()
معدات PVD لتبخر القوسيستخدم نظام PVD لتبخر القوس الكاثودي الصناعي أقواسًا كهربائية ذات جهد كهربائي منخفض-التيار العالي-لتبخير أهداف الكاثود الصلبة في بيئة مفرغة. تحقق هذه الآلية معدل تأين للمعدن يتجاوز 80%، مما يضمن...عرض المزيد -
![نظام الأغشية الرقيقة بقوس الفراغ]()
نظام الأغشية الرقيقة بقوس الفراغيستخدم نظام الأغشية الرقيقة ذات القوس الفراغي الصناعي تبخر القوس الكاثودي لترسيب أغشية رقيقة كثيفة شديدة الالتصاق من المعدن والسبائك والسيراميك. يعمل قوس -تيار عالي، وجهد منخفض- على تبخير مواد...عرض المزيد -
![معدات الأغشية الرقيقة ذات القوس الكاثودي]()
معدات الأغشية الرقيقة ذات القوس الكاثودينظام ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) يستخدم أقواس كهربائية محلية ذات جهد منخفض وتيار عالي- لتبخير أهداف الكاثود الصلبة إلى بلازما مؤينة بالكامل. يعمل معدل التأين العالي (40%-80%) على تحفيز الترابط...عرض المزيد -
![معدات ترسيب التبخر القوسي]()
معدات ترسيب التبخر القوسيتم تصميم نظام الترسيب الفيزيائي للبخار الصناعي (PVD) لتركيب-معدل عالي من الطلاءات الصلبة الكثيفة والمقاومة للتآكل والوظيفية. يؤدي الحفاظ على تفريغ القوس الكاثودي-التيار العالي والجهد المنخفض-على...عرض المزيد -
![معدات الأغشية الرقيقة لتبخر القوس]()
معدات الأغشية الرقيقة لتبخر القوسيعمل نظام التبخر بالقوس الكاثودي هذا على تبخير أهداف الكاثود الصلبة عبر قوس كهربائي منخفض الجهد -وتيار عالي- لتوليد بلازما معدنية متأينة بالكامل. بالمقارنة مع التبخر الحراري القياسي أو الرش...عرض المزيد
المواصفات الفنية
|
المعلمة |
نطاق المواصفات/التكوين القياسي |
|
أبعاد الغرفة |
القطر: 800 مم - 1800 مم (تخطيطات رأسية/أفقية قابلة للتخصيص) |
|
مادة الغرفة |
جدار مزدوج من الفولاذ المقاوم للصدأ SUS304 مع قنوات تبريد داخلية -مياه |
|
ضغط الفراغ النهائي |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
تكوين الكاثود |
4 إلى 12 مصدر قوسي مستطيل/دائري مع توجيه كهرومغناطيسي |
|
قوس إمدادات الطاقة |
300 أمبير - 500تيار ثابت قابل للتعديل، تموج<= 2% |
|
الركيزة التحيز السلطة |
0 إلى -1000 فولت قابل للتعديل، تردد انحياز نابض 10 كيلو هرتز - 100 كيلو هرتز |
|
نظام التدفئة |
مجموعة سخان مشع، أقصى درجة حرارة 600 درجة +/- 5 درجة التوحيد |
|
دوران الشغل |
دوران كوكبي أو ثنائي المحور- يتم التحكم فيه عن طريق تغذية السائل المغناطيسي |
|
نظام التحكم |
PLC + الكمبيوتر الصناعي، وصفة -تحكم آلي بالتسلسل |
|
متطلبات المنفعة |
مياه التبريد: 0.25-0.35 ميجا باسكال، 20-25 درجة؛ الطاقة: 380 فولت/480 فولت، 3 مراحل، 50/60 هرتز |
عملية التبخر القوسي
تعمل دورة الترسيب تحت رقابة إجرائية صارمة لضمان سلامة الفيلم والتصاق الواجهة:
الإخلاء وإطلاق الغازات:
يتم ضخ غرفة الفراغ إلى الضغط الأساسي. يتم تسخين الركائز تحت فراغ لإزالة المواد المتطايرة السطحية والرطوبة المتبقية.
01
النقش بالبلازما (التنظيف):
يقوم القصف الأيوني المعدني (باستخدام مصادر مستهدفة من التيتانيوم أو الكروم) بتنظيف سطح الركيزة على المستوى الذري، وإزالة الأكاسيد الأصلية وتنشيط الواجهة.
02
الترسيب التفاعلي:
يتم حقن الغازات التفاعلية (N2، CH4، O2) في الغرفة من خلال وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFCs) للتفاعل مع تدفق البلازما المعدنية (على سبيل المثال، Ti، Cr، AlTi)، وتشكيل أفلام مركبة مثل TiN، أو TiAlN، أو CrN.
03
التبريد والتهوية:
يحدث التبريد اللاحق-في ظل جو وقائي من الغاز الخامل قبل تنفيس الغرفة واسترجاع الأجزاء.
04
أهداف الكاثود المدعومة
التيتانيوم (Ti) والتيتانيوم الألومنيوم (TiAl):المواد الأساسية لطلاءات TiN القياسية و-الأكسدة العالية-المقاومة TiAlN (تتحمل الأكسدة حتى 900 درجة).
الكروم (الكروم):يُستخدم في التشطيبات الزخرفية وطبقات -CrN/CrC المقاومة للتآكل.
الزركونيوم (Zr) والسيليكون التيتانيوم (TiSi):يتم تطبيقه على الأفلام الزخرفية المتخصصة والأفلام المركبة النانوية المقاومة للتآكل الشديد-.
مواد الركيزة المتوافقة
الفولاذ عالي السرعة-(HSS):التدريبات الملتوية والمطاحن النهائية والمواقد والدبابيس.
الكربيدات الأسمنتية (WC-Co):إدراجات قابلة للفهرسة، وموسعات ثقوب، وقوالب التشكيل.
الفولاذ والسبائك الهندسية:مكونات صمامات السيارات والتروس والأجهزة الصحية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ والمزروعات الطبية المصنوعة من التيتانيوم.
التطبيقات وتأثير الأداء
أدوات القطع المعدنية:
ترسيب طبقات TiAlN وAlCrN على مدخلات الكربيد والمطاحن النهائية، مما يزيد من عمر الأداة بنسبة 200% إلى 300% ويتيح التشغيل الجاف عالي السرعة-.
تشكيل وختم يموت:
تطبيق طبقات كثيفة ومنخفضة الاحتكاك- لتقليل تآكل المواد اللاصقة والتكلس والتصاق قطع العمل أثناء السحب العميق، مما يقلل وقت التوقف عن العمل بنسبة تصل إلى 40%.
مجموعة نقل الحركة للسيارات:
معالجة حلقات المكبس ومسامير حقن الوقود والغمازات لتقليل معامل الاحتكاك الحدودي إلى أقل من 0.15 ومنع التآكل.
الأجهزة الصناعية والحنفية الصحية:
طبقات PVD المزخرفة الصلبة (ذهب القصدير، الذهب الوردي، الزركونيوم الأسود) تجتاز اختبار رش الملح المحايد لمدة 500 ساعة على الأقل (ASTM B117).
التخصيص وتكوين العملية
يتم قياس تخطيطات المعدات وفقًا لحجم الإنتاج وهندسة الأجزاء ومساحة المصنع:
هندسة الغرفة:
هياكل التحميل العمودية للأدوات الثقيلة؛ تكوينات دفعية أفقية لتحميل التركيبات ذات السعة العالية.
تكامل المصدر:
تكوينات هجينة تجمع بين مصادر القوس الكاثودي وكاثودات الرش المغنطروني غير المتوازنة (RMS) لترسيب بنيات متعددة الطبقات ناعمة وخالية من القطرات-.
أنظمة الترشيح:
يتم تركيب مرشحات الجسيمات الكبيرة المغناطيسية الاختيارية (مرشحات القوس الموجهة) على قنوات الكاثود للتخلص من القطرات الكلية -للطبقات الوظيفية الدقيقة أو الضوئية فائقة السلاسة.
واجهة الأتمتة:
التكامل-جاهز لأذرع التحميل الآلية والتجهيز المرحلي للمركبات الموجهة الآلية (AGV).
السلامة الهيكلية:تخضع أجسام الغرفة لاختبار تسرب مطياف كتلة الهيليوم عند عتبة حساسية تبلغ<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
السلامة الكهربائية والامتثال:تم تصميمه بدقة وفقًا لإرشادات السلامة الكهربائية CE وIEC، ويتميز باختبار العزل الكامل وأقفال الأمان في حالات الطوارئ.
التشغيل الوظيفي-إيقاف (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 تم التحقق من المسافة البادئة N / Rockwell HF1-HF2) على قسائم الاختبار القياسية قبل الشحن.
التثبيت والدعم الفني
باقة تجهيز الموقع:
يتم توفير رسومات تخطيط المرافق الشاملة التي توضح بالتفصيل معدلات تدفق مياه التبريد، وتهوية العادم، وسعة التحميل الأرضية، ومواصفات السقوط الكهربائي، بعد 4 أسابيع من-العقد.
في-تشغيل الموقع:
يتعامل مهندسو العمليات المعتمدون في المصنع- مع المحاذاة الميكانيكية، واكتشاف تسرب الفراغ، والتكامل الكهربائي، وإعداد الوصفة الأساسية الأولية في منشأة العميل.
عملية نقل الوصفة:
يتضمن التسليم وصفات أساسية قياسية (TiN وTiAlN وCrN) والتدريب التشغيلي لفرق الصيانة والهندسة الداخلية.
دعم التشخيص عن بعد:
أنظمة مجهزة ببوابات توجيه صناعية آمنة لاستكشاف أخطاء المعلمات وإصلاحها عن بعد والتشخيص المنطقي PLC.
التعليمات
نحن معروفون جيدًا-كأحد أبرز مصنعي وموردي معدات الأغشية الرقيقة للتبخير القوسي في الصين. إذا كنت ستشتري معدات مخصصة للأغشية الرقيقة لتبخر القوس مصنوعة في الصين، فنحن نرحب بك للحصول على قائمة الأسعار من مصنعنا. للتشاور حول الأسعار، اتصل بنا.
