نظرة عامة على المنتج
معدات الطلاء بالأيونات الصناعية المتعددة-المُصممة لتطبيق الطلاءات الصلبة والأغشية الوظيفية والتشطيبات الزخرفية بتقنية PVD على المكونات الدقيقة. باستخدام تفريغ القوس الفراغي -العالي، والجهد المنخفض-، يقوم النظام مباشرة بتبخير المواد الصلبة المستهدفة (Ti, Cr, Al, Zr). عند دمجه مع الغازات التفاعلية (N2، O2، C2H2)، فإنه يقوم بتجميع نيتريدات المعادن الانتقالية الكثيفة، والكربيدات، والأكاسيد مباشرة على ركائز معدنية.
نظرًا لأنه مبني على بنية حجرة مفرغة معيارية، فإن حل PVD الجاهز هذا يستوعب مقاييس إنتاج مختلفة-من معالجة مجموعات البحث والتطوير إلى التصنيع الآلي عالي الإنتاجية-. تم تحسين النظام لتحقيق استخدام عالي الهدف وتكلفة إجمالية منخفضة للملكية (TCO) في البيئات الصناعية المستمرة على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع.
-
![معدات الترسيب الفراغي ذات القوس المتعدد]()
معدات الترسيب الفراغي ذات القوس المتعدديستخدم نظام الترسيب الفراغي متعدد الأقواس- تقنية الطلاء الأيوني بالقوس الكاثودي لترسيب طبقات صلبة كثيفة وعالية الالتصاق- على الركائز المعدنية وغير المعدنية-. ومن خلال ضرب قوس-جهد منخفض وتيار...عرض المزيد -
![نظام الترسيب الأيوني المتعدد القوس]()
نظام الترسيب الأيوني المتعدد القوسThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >تأين بنسبة 80% من مادة الكاثود...عرض المزيد -
![معدات الأغشية الرقيقة -القوسية المتعددة PVD]()
معدات الأغشية الرقيقة -القوسية المتعددة PVDيستخدم نظام PVD الصناعي متعدد-القوس الكاثودي-ترسيب البخار الفيزيائي عالي التأين على شكل قوس كاثودي لترسيب طبقات صلبة كثيفة متكافئة (مثل TiN وTiAlN وCrN وDLC) على ركائز معدنية. تم تصميم هذا النظام...عرض المزيد -
![معدات ترسيب الأيونات المتعددة القوسية]()
معدات ترسيب الأيونات المتعددة القوسيةيعمل نظام ترسيب الأيونات الصناعية المتعددة- على توليد أغشية رقيقة كثيفة وعالية الالتصاق-من خلال تبخر القوس الكاثودي بتيار عالي-وجهد منخفض-. يتم تبخير المواد الصلبة المستهدفة (الكاثودات) في جو غازي...عرض المزيد -
![نظام الأغشية الرقيقة -الأيونات المتعددة القوس]()
نظام الأغشية الرقيقة -الأيونات المتعددة القوسيستخدم نظام الأغشية الرقيقة الصناعية-الأيونات المتعددة التبخر بالقوس الكاثودي لترسيب طبقات سيراميكية ومعدنية كثيفة وعالية-الالتصاق على ركائز معدنية وسبائكية. من خلال تبخير مواد الكاثود الصلبة في...عرض المزيد -
![معدات الأغشية الرقيقة ذات القوس الأيوني المتعدد-]()
معدات الأغشية الرقيقة ذات القوس الأيوني المتعدد-يستخدم نظام الطلاء الأيوني متعدد الأقواس- هذا تبخر القوس الكاثودي لترسيب طبقات صلبة كثيفة وعالية الالتصاق- وأغشية رقيقة وظيفية. من خلال ضرب قوس -تيار عالي، وجهد منخفض-على أهداف الكاثود الصلبة، يتم...عرض المزيد
المواصفات الفنية
|
المعلمة |
نطاق المواصفات |
الوحدة / ملاحظة |
|
أبعاد الغرفة |
Ф600x600 إلى Ф1500x1800 |
مم (تكوينات رأسية أو أفقية مخصصة) |
|
ضغط الفراغ النهائي |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (مضخة جافة + Turbo-مجموعة نشر جزيئية / زيتية) |
|
مصادر قوس الكاثود |
من 4 إلى 16 وحدة |
مصادر القوس الكهرومغناطيسي الموجهة أو المفلترة (FCA) |
|
الركيزة التحيز السلطة |
من 0 إلى -1000 |
V (قدرات انحياز DC / MF النبضية المتقدمة) |
|
درجة حرارة التدفئة |
درجة حرارة الغرفة إلى 600 |
C (سخانات مشعة يتم التحكم فيها بواسطة PID) |
|
توحيد الترسيب |
<= +/- 5% |
تم القياس عبر XRF عبر منطقة العمل الفعالة |
|
نظام التحكم |
PLC + الكمبيوتر الصناعي |
التنفيذ الآلي للوصفة، وتسجيل بيانات SCADA |
|
السلامة والامتثال |
سي، إسو 9001 |
حاويات كهربائية متوافقة مع UL- متاحة عند الطلب |
يعمل تسلسل ترسيب البخار المادي وفقًا لسير عمل آلي-مغلق وصارم لضمان تكرار الدُفعات من -إلى-الدُفعات:
الإخلاء وإطلاق الغازات:
يتم ضخ حجرة التفريغ إلى مستوى ضغط أساسي قدره<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
النقش بالبلازما (القصف):
يتم إدخال غاز الأرجون. يتم تطبيق انحياز سلبي عالي على حامل الركيزة، مما يؤدي إلى توليد أيونات Ar التي تقصف السطح لتناثر الأكاسيد الأصلية والملوثات الدقيقة-.
تبخر القوس والتأين:
يضرب تيار القوس المستمر الكاثود المعدني الصلب. تصل بقعة الكاثود المحلية إلى كثافة طاقة قصوى، مما يؤدي على الفور إلى تبخير المادة المستهدفة إلى تيار بلازما عالي الكثافة- (معدل التأين > 80%).
الترسيب التفاعلي:
يتم حقن الغازات التفاعلية في تدفق البلازما عند ضغوط جزئية يتم التحكم فيها بدقة عبر وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFCs)، مما يشكل أغشية مركبة متكافئة على ركائز دوارة.
التبريد والتهوية:
يحدث التبريد المتحكم فيه تحت حماية الغاز الخامل قبل تنفيس الغرفة، مما يمنع أكسدة الأجزاء المطلية حديثًا.
مواد الفيلم وخصائص الطلاء
يدعم النظام ترتيبات الكاثود-المعدنية المتعددة، مما يتيح بنيات الأفلام أحادية الطبقة، ومتعددة الطبقات، والمركبة النانوية-، والمتدرجة:
القصدير (نيتريد التيتانيوم):
طلاء ذهبي قياسي؛ صلابة 2200-2400 فولت؛ معامل الاحتكاك 0.4. الاستخدام الأساسي: أدوات القطع العامة وأجزاء التآكل الميكانيكية.
TiAlN (نيتريد الألومنيوم والتيتانيوم):
-مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية حتى 850 درجة مئوية؛ صلابة 3000-3300 فولت. الاستخدام الأساسي: إدخالات المعالجة الجافة عالية السرعة وصمامات المحرك.
CrN / CrAlN (نيتريد الكروم):
مقاومة ممتازة للتآكل وانخفاض الضغط الداخلي. خصائص مضادة-للمصادرة ضد-المعادن غير الحديدية. الاستخدام الأساسي: تشكيل القوالب وحلقات المكبس ومكونات آلات النسيج.
زرن / تيكن:
خشونة السطح المنخفضة (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
التطبيقات
أدوات القطع الدقيقة:
تتطلب المطاحن النهائية، والمثاقب، والمواقد، والإدخالات القابلة للفهرسة عمرًا أطول للأداة في ظل الأحمال الحرارية العالية.
01
مجموعة نقل الحركة للسيارات:
تتطلب دبابيس المكبس، والغمازات، ومكونات حقن الوقود، وأسطح التروس تقليل الاحتكاك الحدودي ومقاومة الاحتكاك.
02
قوالب ويموت:
قوالب حقن البلاستيك، وقوالب الختم، وإدخالات صب القوالب-التي تتطلب مقاومة لتآكل المواد اللاصقة والإجهاد الحراري.
03
مكونات الفضاء الجوي:
تعمل شفرات التوربينات ومثبتات التيتانيوم في ظل بيئات شديدة التآكل وعالية الضغط.
04
التخصيص وتكوين النظام
نادرًا ما تتناسب عناصر الكتالوج القياسية مع تخطيطات المصنع المخصصة بشكل مثالي. تم تصميم تكوينات المعدات بناءً على هندسة المكونات المحددة، وأهداف وقت الدورة، وقيود المنشأة:
هندسة الغرفة:
غرف مثمنة أو أسطوانية مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ (SUS304/SUS316L) تتميز بسترات تبريد مزدوجة-جدران مائية-.
تخطيط المصدر:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
تركيب الركيزة:
الدوران الكوكبي (3-) محاور) أو آليات الدوران الفردي التي يتم تشغيلها بواسطة تدفقات السوائل المغناطيسية لضمان تغطية طلاء موحدة على الأشكال الهندسية المعقدة ثلاثية الأبعاد.
خيارات ضخ المكدس:
منافيخ الجذور، أو مضخات الريش الدوارة، أو المضخات المبردة، أو المضخات الجزيئية التوربينية التي تم تكوينها للوفاء بأوقات دورة المضخة الصارمة-.
بروتوكولات مراقبة الجودة والاختبار
تخضع كل آلة لاختبار قبول المصنع (FAT) الصارم قبل إرسالها، ويتم توثيقها لمراجعة المشتري:
01
اختبار سلامة الفراغ:
كشف تسرب الهيليوم باستخدام قياس الطيف الكتلي (معدل التسرب<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
السلامة الكهربائية والحرق-في:
التشغيل الجاف المستمر لمدة 72 ساعة لإمدادات الطاقة، وأقفال تبريد المياه، ومنطق التشغيل الآلي PLC.
03
التحقق من الطلاء (مختبر داخلي-):
تم اختبار العينات من خلال اختبار Calo- (سمك الغشاء)، ومسافة بادئة Rockwell (قوة الالتصاق)، ومسافة بادئة النانو (الصلابة).
التركيب والتشغيل والدعم الفني
إرشادات إعداد الموقع:
يتم توفير رسومات تفصيلية لتخطيط المرافق لتدفق/ضغط مياه التبريد، والهواء المضغوط، وتهوية العادم، ومتطلبات قضبان التوصيل الكهربائية.
جلس والتشغيل:
يتم التثبيت في-الموقع (اختبار قبول الموقع)، ومعايرة الفراغ، وتسليم الوصفة الأساسية بواسطة كبار مهندسي عمليات PVD.
التدريب على العمليات:
تدريب عملي-على المشغلين يغطي جداول استبدال الكاثود، والصيانة الوقائية للفراغ، واستكشاف الأخطاء وإصلاحها، وتحسين الوصفة الأساسية.
دعم قطع الغيار:
يتم تخزين مكونات التآكل الحرجة (الكاثودات، والدروع، والعوازل، والأختام) للإرسال العالمي في غضون 48 ساعة.
الأسئلة المتداولة
نحن معروفون جيدًا-كواحد من أبرز-مصنعي وموردي معدات الأغشية الرقيقة ذات الأيونات المتعددة القوسية في الصين. إذا كنت ستشتري معدات مخصصة للأغشية الرقيقة ذات الأيونات المتعددة -المصنوعة في الصين، فمرحبًا بك للحصول على قائمة الأسعار من مصنعنا. للتشاور حول الأسعار، اتصل بنا.
