نظرة عامة على المنتج
معدات الأغشية الرقيقة المركبة PVD عبارة عن منصة صناعية للترسيب الفراغي تم تصميمها لترسيب الأغشية الرقيقة متعددة-الطبقات والسبائك والمركبات النانوية. من خلال دمج مصادر المغنطرون الاخرق والقوس الكاثودي داخل غرفة مفرغة واحدة، يتيح النظام التحكم الدقيق في البنية المجهرية للفيلم، والضغط المتبقي، والالتصاق البيني. صُممت المنصة للإنتاج المستمر والبحث والتطوير المتقدم، وهي تستوعب ركائز معدنية وسيراميكية وبوليمرية ذات تصميمات هندسية قابلة للتطوير.
-
![معدات ترسيب الفراغ المركب PVD]()
معدات ترسيب الفراغ المركب PVDتدمج منصة الترسيب الفراغي المركبة PVD الصناعية تقنيات ترسيب متعددة في بيئة غرفة واحدة لترسيب أغشية رقيقة موحدة ومتعددة{0}معدنية أو سبائكية أو عازلة للكهرباء. تستوعب البنى القياسية معالجة الدفعات...عرض المزيد -
![نظام ترسيب الأغشية الرقيقة الهجين PVD]()
نظام ترسيب الأغشية الرقيقة الهجين PVDيدمج نظام ترسيب الأغشية الرقيقة الهجين PVD التبخر الحراري، وتبخر شعاع الإلكترون (e-شعاع)، وتناثر المغنطرون RF/DC ضمن بنية فراغية واحدة. يتيح هذا النظام الأساسي الترسيب المتسلسل أو المشترك- للمعادن...عرض المزيد -
![معدات معالجة الأغشية الرقيقة المتعددة -PVD]()
معدات معالجة الأغشية الرقيقة المتعددة -PVDإن معدات الأغشية الرقيقة- متعددة العمليات PVD عبارة عن منصة متكاملة للترسيب الفراغي تم تصميمها لدمج العديد من تقنيات تصنيع الأغشية الرقيقة- - بما في ذلك ترسيب المغنطرون RF/DC، والتبخر الحراري،...عرض المزيد -
![معدات ترسيب مركب PVD]()
معدات ترسيب مركب PVDتم تصميم معدات ترسيب المواد المركبة PVD الصناعية لتصنيع الأغشية الرقيقة-المتعددة المكونات والطبقات-والنانو-الرقيقة. يدمج النظام التبخر الحراري، وتبخر الشعاع الإلكتروني، ومصادر رش المغنطرون داخل...عرض المزيد -
![نظام الأغشية الرقيقة المركب PVD]()
نظام الأغشية الرقيقة المركب PVDنظام طلاء تفريغ من الدرجة الصناعية - يدمج رش المغنطرون (RF/DC/HiPIMS) والتبخر بالقوس الكاثودي. تم تصميمه لترسيب الأغشية الرقيقة-المستمرة والمتعددة-والسبائكية والنانو-المركبة على نطاق الإنتاج.عرض المزيد -
![معدات الأغشية الرقيقة المركبة PVD]()
معدات الأغشية الرقيقة المركبة PVDمعدات الأغشية الرقيقة المركبة PVD عبارة عن منصة صناعية مفرغة مصممة لتصنيع الأغشية الرقيقة متعددة-الطبقات والسبائك والأغشية الرقيقة المتدرجة. تم تصميمه على بنية معيارية من الفولاذ المقاوم للصدأ...عرض المزيد
المواصفات الفنية
|
المعلمة |
نطاق المواصفات |
|
ضغط الفراغ النهائي |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
ضغط العمل |
0.1 باسكال - 5.0 باسكال |
|
درجة حرارة الركيزة |
محيط حتى 800 درجة (حلقة مغلقة -يتم التحكم فيها بواسطة PID) |
|
مصادر الترسيب |
شكلي: DC/RF المغنطرون الاخرق، DC النبضي، القوس الكاثودي المصفى |
|
توحيد السماكة |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
مادة الغرفة |
304L/316L من الفولاذ المقاوم للصدأ، أرضية ميكانيكية وكهربائية - مصقولة (Ra<= 0.4 um) |
|
تكامل إمدادات الطاقة |
مولدات التردد المتوسط (10-100 كيلو هرتز)، مولدات التردد اللاسلكي (13.56 ميجا هرتز)، انحياز التيار المستمر النبضي |
|
نظام التحكم |
PLC الصناعي + IPC مع التنفيذ الآلي للوصفة ومراقبة التعشيق وتسجيل البيانات المجمعة |
عملية الترسيب المركب
يستخدم النظام بنية ترسيب البخار الفيزيائي الهجين التي تجمع بين تقنيات الرش المغنطروني والقوس الكاثودي.
تعاون متعدد-المصادر:
يتيح التشغيل المتزامن أو المتسلسل لكاثودات متعددة إجراء تحولات تركيبية مفاجئة أو متدرجة عبر مجموعة الأفلام.
التنظيف المسبق للحفر الأيوني-:
تعمل مراحل تنظيف بلازما الترددات اللاسلكية أو التيار المستمر على إزالة الأكاسيد الأصلية والملوثات السطحية قبل الترسيب لزيادة الطلاء إلى أقصى حد -ل-التصاق الركيزة.
التحكم في الترسيب التفاعلي:
ينظم التحليل الطيفي للانبعاث البصري ذو الحلقة المغلقة (OES) حقن الغاز التفاعلي (O2، N2، C2H2) للحفاظ على استقرار قياس العناصر المتفاعلة للمركب ومنع تسمم الهدف.
انحياز الركيزة:
تعمل مصادر الطاقة المتحيزة النبضية المتزامنة على قصف الغشاء المتنامي بأيونات عالية الطاقة-، مما يؤدي إلى تكثيف البنية المجهرية وتكييف إجهاد الضغط المتبقي.
مواد الفيلم
تدعم المعدات مجموعة واسعة من المواد المستهدفة للمتطلبات الوظيفية المخصصة:
نيتريدات وكربيدات المعادن الانتقالية:
TiN، TiAlN، CrN، ZrN، TiCN لمقاومة التآكل والتآكل.
الأنظمة المركبة النانوية ومتعددة الطبقات:
TiSiN، وAlTiSiN، وطبقات نانوية من المعدن/السيراميك للحصول على صلابة شديدة وثبات حراري في درجات الحرارة العالية.
أكاسيد موصلة شفافة (TCO):
ITO، AZO، IGZO للتطبيقات الإلكترونية الضوئية والكهروضوئية.
المعادن والسبائك النقية:
Ti، Cr، Al، Cu، الفولاذ المقاوم للصدأ، NiCr للتلامس الكهربائي وطبقات حاجز الانتشار.
التطبيقات
أدوات القطع الدقيقة:
ترسيب طبقات الطلاء فائقة الصلابة والمنخفضة الاحتكاك (على سبيل المثال، TiAlN) على إدراجات الكربيد والمثاقب والمطاحن النهائية- لإطالة العمر التشغيلي تحت الأحمال الحرارية العالية.
مكونات السيارات:
طبقات مقاومة -تقليل الاحتكاك والتآكل-على حلقات المكبس، وأجزاء حقن الوقود، ومجموعات التروس.
الإلكترونيات الضوئية وشاشات العرض:
مقاومة-منخفضة، وطبقات أكسيد موصلة عالية-لناقل الحركة للوحات اللمس وركائز الخلايا الشمسية.
الأجهزة الطبية:
طبقات طلاء متوافقة حيويًا ومقاومة للتآكل- على الأدوات الجراحية وزراعة العظام.
التخصيص وتكوين النظام
يتم تكييف التكوينات الهندسية مع قيود منشأة الإنتاج المحددة ووصفات العملية:
حجم الغرفة:
تتراوح خيارات الغرف الأسطوانية أو المستطيلة من أنظمة الدفعات للبحث والتطوير (قطر 500 مم) إلى أنظمة القفل -الأحمال الإنتاجية الكبيرة- (1000 مم+).
01
اختيار جناح الضخ:
مطابقة المنافيخ الجذرية، والمضخات الجزيئية التوربينية، والمضخات المبردة بناءً على أوقات تعطل المضخة المطلوبة- وملفات تعريف حمل الغاز.
02
تركيب الركيزة:
مراحل دوران كوكبي مخصصة، أو دوران قمر صناعي ثلاثي المحاور، أو وحدات لفة إلى لفة مصممة للأشكال الهندسية ثلاثية الأبعاد المعقدة أو الشبكات المستمرة.
03
مستوى الأتمتة:
تكوينات تحميل يدوية شبه آلية أو أنظمة نقل فراغ مؤتمتة بالكامل مع معالجة آلية للركيزة.
04
التصنيع ومراقبة الجودة
كشف التسرب:
تخضع كل غرفة مفرغة لاختبار تسرب مطياف كتلة الهيليوم إلى عتبة <1 × 10^-10 باسكال * م^3 / ثانية.
فحص اللحام:
اللحامات الجانبية -الفراغية ملحومة بـ TIG، مطحونة ومصقولة، يتبعها فحص بالأشعة السينية أو فحص اختراق الصبغة عند الطلب.
الامتثال للكهرباء والسلامة:
لوحات التحكم مصممة وفقًا لمعايير NFPA 79 أو CE/IEC، وتتميز بأجهزة تعشيق لتدفق المياه وضغط الغاز والسلامة الكهربائية.
اختبار قبول المصنع (FAT):
يتضمن اختبار ما قبل الشحن-دورة تشغيل مستمرة لمدة 72-ساعة من الجفاف-والتحقق من أداء التفريغ وترسيب الطلاء الاختباري باستخدام وصفات محددة من قبل العميل.
إرشادات إعداد الموقع:تم توفير وثيقة شاملة لمتطلبات المنشأة تتضمن تفاصيل واجهات المرافق (تدفق/ضغط مياه التبريد، الحمل الكهربائي، الهواء المضغوط، العادم).
في-تشغيل الموقع:يقوم مهندسو الخدمة الميدانية بتنفيذ المحاذاة الميكانيكية، وفحص التسرب الفراغي، والربطات الكهربائية-، والمعايرة الأولية.
ضبط وصفة العملية:التعاون في الموقع- مع علماء المعادن ومهندسي العمليات لدى العملاء لتثبيت معلمات سمك الفيلم المستهدف والإجهاد والصلابة.
دعم دورة الحياة:واجهة التشخيص عن بعد، ومخزون قطع الغيار المحلي، وبرامج الصيانة الوقائية المجدولة.
التعليمات
نحن معروفون جيدًا-كأحد أبرز مصنعي وموردي معدات الأغشية الرقيقة المركبة pvd في الصين. إذا كنت ستشتري معدات الأغشية الرقيقة المركبة pvd المخصصة المصنوعة في الصين، فنحن نرحب بك للحصول على قائمة الأسعار من مصنعنا. للتشاور حول الأسعار، اتصل بنا.
