نظرة عامة على المنتج
تعمل معدات الأغشية الرقيقة للتبخير المساعد من سلسلة IAE-Ion- على دمج عملية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) مع قصف شعاع الأيونات في الوقت الحقيقي-. من خلال توجيه الأيونات النشطة إلى الركيزة أثناء التبخر الحراري أو شعاع الإلكترون-، ينقل النظام الزخم إلى adatoms التكثيف، مما يعيد هيكلة البنية المجهرية للفيلم المتنامي.
يزيل نقل الطاقة الحركية هذا الفراغات العمودية، ويمنع امتصاص الرطوبة، ويقفل مؤشر الانكسار ضد تحولات الرطوبة المحيطة. تم تصميم النظام للتشغيل المستمر-بمناوبات متعددة في خطوط إنتاج البصريات وأشباه الموصلات، ويتعامل النظام الأساسي مع ركائز تتراوح من بصريات الليزر عالية الدقة-إلى رقائق السيليكون.
-
![أيون-معدات التبخير بالفراغ المساعدة]()
أيون-معدات التبخير بالفراغ المساعدةيدمج نظام التبخر الفراغي المساعد -الأيوني-مصادر تبخر حرارية أو شعاعية إلكترونية-عالية مع مصدر أيون هالة من النوع-نوع كوفمان أو النهاية-. من خلال قصف الغشاء المتنامي بالغاز المتأين (Ar أو O2) أثناء...عرض المزيد -
![أيون-نظام ترسيب الأغشية الرقيقة المساعد]()
أيون-نظام ترسيب الأغشية الرقيقة المساعديدمج نظام ترسيب الأغشية الرقيقة المساعد -الأيوني-حزمة الإلكترونات-التبخر الحراري/التبخر الحراري مع مصدر أيون-عالي الأداء من النوع-Hall أو Kaufman-. أثناء ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، ينقل القصف...عرض المزيد -
![معدات التبخر بمساعدة شعاع الأيون]()
معدات التبخر بمساعدة شعاع الأيونيجمع نظام IBAE بين شعاع -الإلكترون أو التبخر الحراري مع مصدر أيون عريض -متكامل. يؤدي القصف الأيوني المتزامن أثناء نمو الفيلم إلى نقل الطاقة الحركية إلى adatoms، مما يؤدي إلى إزالة الهياكل المجهرية...عرض المزيد -
![أيون-معدات ترسيب الأغشية الرقيقة المساعدة]()
أيون-معدات ترسيب الأغشية الرقيقة المساعدةتعمل معدات ترسيب الأغشية الرقيقة المدعومة من سلسلة IA-من سلسلة IA على دمج التبخر الحراري لشعاع الإلكترون- مع مصدر أيون كوفمان أو End-Hall. يؤدي القصف الأيوني النشط (مزيج الأرجون/الأكسجين) أثناء...عرض المزيد -
![أيون-نظام الأغشية الرقيقة المدعوم بالتبخر]()
أيون-نظام الأغشية الرقيقة المدعوم بالتبخريدمج نظام التبخر الأيوني بمساعدة التبخر (IAE) عملية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) مع قصف شعاع الأيونات النشط. أثناء تبخر شعاع - الحراري أو الإلكتروني، يقوم مصدر أيون كوفمان أو End- المساعد بتوجيه...عرض المزيد -
![أيون-معدات الأغشية الرقيقة للتبخير المساعد]()
أيون-معدات الأغشية الرقيقة للتبخير المساعدنظام -الأيونات الصناعية-التبخر المساعد (IAE) الذي يدمج تبخر شعاع الإلكترون -الجيبي المتعدد- مع مصدر شعاع أيوني نشط (تكوين End-Hall أو Kaufman). يعمل القصف الأيوني في الوقت الحقيقي- على نقل الزخم...عرض المزيد
المواصفات الفنية
|
المعلمة |
مواصفة |
|
الضغط الأساسي النهائي |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
مصادر التبخر |
مسدس شعاع متعدد -جيب E- (4 × 15 سم مكعب إلى 40 سم مكعب) ومصادر حرارية مقاومة |
|
نوع المصدر الأيوني |
نهاية بدون شبكة-Hall / Kaufman-مصدر أيوني من النوع (جهد الشعاع: 50 – 1500 فولت، تيار الأيون: 0.1 – 3 أمبير) |
|
التحكم في سماكة الفيلم |
ميزان كريستال كوارتز دقيق (QCM) + نظام مراقبة بصري (OMS)، الدقة ± 0.1 نانومتر |
|
تركيب الركيزة |
أداة تثبيت الدوران الكوكبي، نصف قطر القبة مخصص لهندسة الركيزة |
|
تسخين الركيزة |
مجموعة سخانات مشعة، تصل إلى 350 درجة مع تجانس PID بمقدار ± 2 درجة |
|
هندسة التحكم |
PLC + الكمبيوتر الصناعي، التنفيذ الآلي للوصفة، تسجيل البيانات المتوافقة مع SECS/GEM |
أيون-عملية الترسيب المساعدة
توليد البخار:
يتم تبخير المادة من بوتقة العارضة الإلكترونية أو القارب الحراري بمعدلات ترسيب يتم التحكم فيها (0.1 - 2.0 نانومتر/ثانية).
01
نقل الزخم:
تقصف الأيونات النشطة (Ar⁺، O⁺) سطح الركيزة بشكل متزامن مع تدفق البخار القادم من الحزمة E- أو المصدر الحراري.
02
تعديل البنية المجهرية:
يعمل التأثير الأيوني على تحسين حركة سطح المادة، مما يمنع نمو الحبوب العمودية ويحقق كثافة ظاهرية قريبة من-كثافة التعبئة > 99%).
03
تصحيح العناصر الكيميائية:
تضمن مساعدة الأيونات التفاعلية (O₂) الأكسدة الكاملة للأكاسيد- الفرعية في طبقات أكسيد الفلز (على سبيل المثال، Ta₂O₅، Nb₂O₅، SiO₂)، مما يزيل نطاقات الامتصاص في طيف الأشعة فوق البنفسجية -NIR.
04
مواد الفيلم
أكاسيد:
SiO₂، Ta₂O₅، TiO₂، Nb₂O₅، HfO₂ (ثبات معامل الانكسار العالي للمرشحات الضوئية).
الفلوريدات:
MgF₂، LaF₃ (طبقات ذات معامل انكسار منخفض لطلاءات AR ذات النطاق العريض).
المعادن:
Al، Ag، Au، Ti (طبقات الالتصاق والعاكسات المعدنية).
التطبيقات
الليزر والبصريات الدقيقة:
تتطلب مرشحات تمرير النطاق، والمرايا ثنائية اللون، والطلاءات الواقية من الليزر حدًا عاليًا للضرر الناجم عن الليزر (LIDT) وتحولًا طيفيًا صفرًا تحت الضغط الحراري.
زجاج غطاء LiDAR:
أغشية رقيقة متينة مضادة-للانعكاس (AR) ومضادة-للتلوث ومقاومة للعوامل الجوية الخارجية القاسية.
تغليف أشباه الموصلات:
يتم ترسيب طبقات التغليف العازلة للرطوبة ومنصات التلامس المعدنية عند درجات حرارة منخفضة للركيزة.
أجهزة الاستشعار الطبية الحيوية:
طلاءات التداخل البصري المتوافقة حيوياً لرقائق ميكروفلويديك التشخيصية.
التخصيص
تم تصميم الغرف والتخطيطات الداخلية وفقًا لآثار التصنيع المحددة ومتطلبات العملية:
أبعاد الغرفة:
قابلة للتطوير من R=600 ملم من وحدات البحث والتطوير إلى R=1200 ملم من أنظمة الإنتاج ذات السعة العالية-.
حزم الضخ:
قابلة للتكوين باستخدام مضخات Maglev التوربينية الجزيئية، ومضخات التبريد، وخطوط دعم منفاخ Roots بناءً على متطلبات حمل الغاز.
تكامل المصدر:
تكوينات مصدر الأيونات- المزدوجة أو إعدادات الترسيب المشترك-للسبائك المعقدة والأغشية المتدرجة متعددة الطبقات-.
مستوى الأتمتة:
التكامل مع أنظمة نقل الركيزة الآلية في غرف الأبحاث (أدوات EFEM / مجموعة الفراغ).
ضبط الجودة
كشف التسرب:
يتم اختبار تسرب الهيليوم في كل غرفة مفرغة-باستخدام مطياف الكتلة (معدل التسرب < 1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
تتبع المكونات:
صمامات التفريغ، وأجهزة التحكم في التدفق الشامل (MFCs)، ومصادر إمداد الطاقة التي يتم الحصول عليها من علامات تجارية صناعية مؤهلة من المستوى 1 (MKS، وInficon، وVAT).
اختبار قبول المصنع (FAT):
قم بإجراء-اختبارات للتحقق من ضغط القاعدة، ومنحنى الضخ، واستقرار المصدر، وتحمل الحجرة الفارغة لمدة 24-ساعة متواصلة قبل الشحن.
التحقق من صحة المقاييس:
تم التحقق من تشغيل العينة عن طريق مقياس الطيف الضوئي (النفاذية/الانعكاس) ومجهر القوة الذرية (خشونة السطح Ra <0.5 نانومتر).
التثبيت والدعم الفني
دليل إعداد الموقع:
يتم توفير متطلبات المرافق الشاملة قبل التسليم (تدفق/ضغط مياه التبريد، والهواء المضغوط في غرف الأبحاث، وتوزيع الطاقة، وتنفيس العادم).
التكليف بنظام تسليم المفتاح:
يتعامل مهندسو الخدمة الميدانية مع التجميع الميكانيكي، والخبز الفراغي-، ومعايرة شعاع الأيونات، وتوقيع وصفة العملية الأولية-الإيقاف على-الموقع.
تدريب المشغلين:
تدريب عملي منظم-يغطي الصيانة الروتينية، وسلامة الفراغات الكهربائية، وتشغيل البرامج، واستكشاف الأخطاء وإصلاحها.
دعم دورة الحياة:
واجهة التشخيص عن بعد لاستكشاف أخطاء البرامج وإصلاحها بسرعة؛ يتم إرسال المخزون الإقليمي من العناصر شديدة التآكل (الخيوط والبوتقات والدروع) في غضون 48 ساعة.
التعليمات
نحن معروفون جيدًا-كأحد أبرز مصنعي وموردي معدات التبخر الرقيق بمساعدة الأيونات-في الصين. إذا كنت ستشتري معدات الأغشية الرقيقة المخصصة للتبخير الأيوني -المصنوعة في الصين، فمرحبًا بك للحصول على قائمة الأسعار من مصنعنا. للتشاور حول الأسعار، اتصل بنا.
