وصف المعدات:
· مقدمة المعدات:
تعبر عن جزيئات غاز العملية التي تمر عبر غرفة الحفر وتتحلل وتتأين لإنتاج البلازما.
تتفاعل بعض المجموعات النشطة في البلازما كيميائياً مع سطح المادة المحفورة؛
معدات حفر الأغشية الرقيقة السريعة من خلال مصدر طاقة النبض/التردد الراديوي، يتم قصف الأيونات الموجبة في البلازما فعليًا على سطح المادة المحفورة، وذلك لتنظيف سطح المادة وتعديله وحفره عن طريق مزيج من الفيزياء والكيمياء.
· مزايا المعدات:
درجة حرارة منخفضة للغاية للحفر، لتلبية متطلبات درجة الحرارة في المناسبات المختلفة، ويمكن تجنب الإجهاد الحراري وتشوه الركيزة؛
يمكن رفع مصدر الأيون المزدوج السريع على جانبي الأسطوانة، مما يسهل الصيانة؛
تعتمد معدات النقش على الأغشية الرقيقة السريعة مصدر تنظيف شعاع الأيون وتقنية التفريغ الفريدة، وكثافة البلازما العالية، وتأثير تنظيف النقش جيد، مع توحيد جيد؛
إنذار وحماية سريعة: حماية السلامة الشاملة تشمل: وظيفة حماية سلامة درجة الحرارة، وظيفة الحماية من الحمل الزائد، وظيفة حماية إنذار انقطاع الدائرة القصيرة، وظيفة حماية مختلفة من سوء التشغيل.
مجال التطبيق:
المواد القابلة للنقش السريع: المعادن،-المعدنية، والسبائك، والمكونات الإلكترونية (السيليكون أحادي البلورية، والسيليكون غير المتبلور، والبولي سيليكون، وSOI)، وأكاسيد المعادن، والنيتريدات، والكربيدات، والسيراميك، والبوليمرات، والمواد فائقة التوصيل، وما إلى ذلك.
يمكن استخدامه كآلة تلاشي الأفلام لأفلام DLC/ta-C.
يمكن استخدامه في: الإلكترونيات الاستهلاكية 3C، والمكونات الإلكترونية، والبصريات، والنقل، وقالب الأدوات، والأجهزة المنزلية، والطاقة الجديدة، والمعاهد الطبية والبحثية وغيرها من الصناعات.
قبل النقش الأيوني بعد النقش الأيوني
الوسم : معدات النقش على الأغشية الرقيقة، الشركات المصنعة لمعدات النقش على الأغشية الرقيقة في الصين، الموردين، المصنع, معدات حفر المواد المركبة, معدات الحفر عالية الأداء, آلات حفر الجهاز البصري, جهاز حفر البوليمر, معدات الحفر الميم, نظام الحفر المطابق
