أيون-نظام الأغشية الرقيقة المدعوم بالتبخر

يدمج نظام التبخر الأيوني بمساعدة التبخر (IAE) عملية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) مع قصف شعاع الأيونات النشط. أثناء تبخر شعاع - الحراري أو الإلكتروني، يقوم مصدر أيون كوفمان أو End- المساعد بتوجيه أيونات الأرجون أو الغاز التفاعلي إلى الركيزة المتنامية. يؤدي نقل الزخم هذا إلى تحسين حركة adatom، وإزالة الفراغات العمودية، وإنتاج أفلام كثيفة ورطبة-مستقرة مع مؤشرات انكسار قريبة من الحجم- وحد أدنى من الانجراف الحراري.

تم تصميم هذا النظام خصيصًا لبيئات الإنتاج والبحث التي تتطلب تحكمًا صارمًا في الثوابت الضوئية والإجهاد المتبقي، وهو يستوعب مدافع شعاع الإلكترون المتعددة-الجيوب، ومبخرات المقاومة، وتركيبات الركيزة القابلة للتخصيص.

نقل الزخم الأيوني الحقيقي-الزمني:يعمل القصف الأيوني- على تكثيف البنى المجهرية، مما يمنع امتصاص الرطوبة البيئية وتغيير معامل الانكسار. يتحقق تحليل SEM المقطعي - من عدم تكوين فراغ عمودي في أكوام الأكسيد.

مغلق-تنظيم معدل الحلقة:واجهة مصادر الطاقة التي يتم التحكم فيها PID-مباشرة مع مستشعرات توازن الكوارتز الكريستالي الصغير (QCM) متعددة القنوات للحفاظ على استقرار معدل الترسيب في حدود +/- 0.1 Å/s.

الإدارة الحرارية المنخفضة للعيوب:تعمل مجموعات السخان الإشعاعي على تمكين التنظيف المسبق للركيزة- والتليين في الموقع- حتى 400 درجة مع تجانس +/- 2.5 درجة.

الصيانة الشاملة-السريعة:تتيح مجموعات الشبكة -الوصول السريع إلى فلنجات المصدر والأيونات المعيارية- إجراء صيانة داخلية كاملة وإعادة التعبئة المستهدفة في أقل من ساعتين، مما يقلل من وقت التوقف غير المجدول في غرف الأبحاث.

ضخ المكدس:مضخة دعم (جذور + ريشة دوارة) مقترنة بمضخات جزيئية توربينية عالية الإنتاجية (سعة 1600 لتر/ثانية) أو مضخات تبريد (1500 لتر/ثانية) تم تصميمها للتعامل مع أحمال الغاز التفاعلية أثناء عمليات IAE ذات المعدل العالي-.

الصمامات والختم:تعمل صمامات البوابة الهوائية وموانع التسرب المزدوجة المصنوعة من الفيتون/المعدن- على عزل غرفة العملية عن الخطوط الخشنة، مما يمنع التدفق العكسي للهيدروكربون.

تشابك الضغط:يقوم تسلسل PLC الآلي بمراقبة ضغط الخطوط الأمامية، ومعدلات تدفق مياه التبريد، وإمدادات الهواء المضغوط قبل تنشيط مدفع شعاع -الجهد E- العالي.

مواد التبخير:أكاسيد (TiO2، ZrO2، SiO2، Al2O3)، الفلوريدات (MgF2)، والمعادن عالية النقاء - (Au، Ag، Al، Ti).

مواد الركيزة:الزجاج البصري (BK7، السيليكا المنصهرة)، ورقائق السيليكون (حتى 300 مم)، وأشباه الموصلات المركبة (GaAs، InP)، والسيراميك/المعادن.

تركيب:-حاملات ركائز مخصصة مصنوعة من الألومنيوم أو الفولاذ المقاوم للصدأ تم تصميمها للتوصيل الحراري والحد الأدنى من توليد الجسيمات أثناء دوران الكواكب.

السلسلة -O (البصريات الدقيقة):تم تحسينه ليناسب مرشحات التداخل البصري متعددة-الطبقات، ومرايا الليزر، وطلاءات الواقع المعزز. متكامل مع المراقبة البصرية ذات النطاق العريض (OMS) والدوران الكوكبي عالي الكثافة- لضمان التحول الطيفي < 0.1% في ظل تغيرات الرطوبة المحيطة.

السلسلة-S (تغليف أشباه الموصلات وأجهزة الاستشعار):تم تصميمها خصيصًا لطبقات البذور المعدنية ذات درجات الحرارة المنخفضة -والتخميل العازل للكهرباء على رقائق السيليكون مقاس 200 مم/300 مم مع توافق قفل الجسيمات-الحمل الحر-.

سلسلة -R (البحث والتطوير / أبحاث المواد المتقدمة):تصميم حجرة عالي المرونة يدعم المصادر الأيونية المزدوجة والتبادل السريع للمصدر-على سطح المختبرات الجامعية ومراكز البحث والتطوير بالشركات.

أبعاد الغرفة:أحجام داخلية مخصصة تتراوح من 600 ملم إلى 1200 ملم.

مستويات الأتمتة:وصفات PLC شبه تلقائية أو وصفات غير مراقبة بالكامل يتم التحكم فيها عن طريق برنامج SCADA بشاشة اللمس - مع Audit Trail (تتوفر خيارات متوافقة مع 21 CFR الجزء 11 للإنتاج الطبي/أجهزة الاستشعار).

منافذ التشخيص:حواف NW/CF إضافية مخصصة -للقياس الإهليلجي الطيفي في الموقع أو أجهزة تحليل الغاز المتبقي (RGA).

كشف التسرب:تخضع كل غرفة مفرغة لاختبار تسرب مطياف كتلة الهيليوم إلى عتبة <1 × 10^-10 Pa*m^3/s قبل إطلاقها في المصنع.

التحقق من صحة البنية المجهرية:يتضمن ضمان الجودة القياسي فحصًا اختياريًا لعينة SEM المقطعية -للتحقق من كثافة الفيلم والاتساق الهيكلي.

السلامة الكهربائية:تم تنفيذ -مقاومة عزل الجهد العالي، واستمرارية التأريض، واختبار استجابة التعشيق وفقًا لمعايير CE/SEMI S2.

اختبار قبول المصنع (FAT):تم الانتهاء منه في منشأة التصنيع لدينا؛ يتلقى العملاء تقرير تشغيل أساسي للتحقق من الضغط الأساسي واستقرار معدل الترسيب ومخرج التيار الأيوني.

اختبار قبول الموقع (SAT):في-يشرف المهندسون في الموقع على أعمال التركيب، ووصلات المرافق (مياه التبريد، والطاقة، والهواء المضغوط، وغازات المعالجة)، وعمليات المعايرة.

التوثيق:تشتمل أدلة الخدمة الشاملة على مخططات كهربائية، وعلامات منطقية لمصدر PLC، ومخططات لأنابيب التفريغ، وقوائم الأجزاء المستهلكة.