معدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما

تعد معدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما عبارة عن تقنية طلاء أيوني نقي (شعاع أيوني نقي)، وتقنية تنظيف شعاع الأيونات عالية الطاقة -(Ionbeam)، وتقنية Magnetron Sputter (Sputter)، وترسيب بخار الحبس المغناطيسي (الحجز المغناطيسي-CVD) هي أربع تقنيات في واحدة، وهي مزيج مثالي من تقنية PVD وتقنية CVD.

توفر معدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما مجموعة عمليات أكثر مرونة لتلبية مجموعة متنوعة من احتياجات المنتجات المعقدة، وتوفر عمليتها الهجينة القوية المزيد من الإمكانيات لمصممي العمليات.

معدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما مقدمة موجزة عن وظائف المعدات:

(1) مصدر طلاء أيوني نقي، باستخدام نظام ترشيح كهرومغناطيسي فعال، يزيل الجزيئات بشكل فعال، ويحصل على شعاع أيوني عالي النقاء، ويساعد على تحسين صلابة الطلاء وقوة الربط؛

(2) مصدر تنظيف شعاع الأيونات عالي الطاقة، باستخدام هيكل تفريغ مصمم خصيصًا، متوافق بشكل فعال مع تنشيط تنظيف البلازما، والتأين المساعد، والترسيب المستقل والوظائف الأخرى؛

(3) مصدر الرش المغنطروني، باستخدام تصميم المجال المغناطيسي المبتكر، يحسن بشكل فعال معدل الاستخدام المستهدف بأكثر من 30٪؛

(4) مصدر ترسيب البخار المحصور مغناطيسيًا، هيكل موثوق وسهل الصيانة، يمكن أن يحقق ترسيب طلاء سريع ودقيق.

أنواع الطلاء النموذجية:

(1) Me-TAC، طلاء مركب معدني TAC، يستخدم على نطاق واسع

(2) Me-DLC، طلاء مركب DLC معدني، يستخدم على نطاق واسع

(3) Me-TAC-DLC، TAC-الطبقات المركبة DLC، مع الحصول على صلابة أساسية أعلى وقوة ربط TAC، تتمتع بمعدل ترسيب ومظهر جيد لـ DLC.

يمكن لمعدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما السريعة تحقيق مجموعة TAC-DLC، والتي تعمل على تحسين قوة الربط بشكل كبير مقارنةً بـ CVD البسيط، مع تقليل حجم جسيمات PVD وتقصير وقت العملية.

يمكن لمعدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما السريعة تحقيق مجموعة متنوعة من العمليات ترسيب فيلم C، والطلاء الأيوني النقي TAC، وتفريغ الحبس المغناطيسي DLC، وطلاء مصدر أيون طبقة الأنود DLC، وما إلى ذلك.

تم تجهيز معدات الأغشية الرقيقة المحسنة بالبلازما السريعة بجهاز وبرنامج مسح كهرومغناطيسي، والذي يمكنه التحكم في اتجاه شعاع البلازما عند نقطة ووقت ثابتين، مما يحسن بشكل كبير مشكلة توحيد الطلاء، ويتم التحكم في توحيد طبقة فيلم الفرن بالكامل أقل من ±5٪؛ التعبير عن تصميم المجال المغناطيسي الأمثل وتصميم التبريد، وسهولة الصيانة، واستقرار جيد للمعدات؛

واجهة الآلة-الودية، وتسجيل بيانات العملية في الوقت الفعلي-، مما يساعد على مراقبة الجودة، والتحليل الصعب، وتطوير عمليات جديدة؛

هذا المشروع عبارة عن معدات جاهزة للاستخدام، وتوفر شركة Pure Source حلاً كاملاً، بما في ذلك صيغة الطلاء الناضجة المستقرة.