معدات ترسيب التبخر القوسي

تم تصميم نظام الترسيب الفيزيائي للبخار الصناعي (PVD) لتركيب-معدل عالي من الطلاءات الصلبة الكثيفة والمقاومة للتآكل والوظيفية. يؤدي الحفاظ على تفريغ القوس الكاثودي-التيار العالي والجهد المنخفض-على الأسطح الصلبة المستهدفة إلى توليد تيار بلازما متأين بنسبة 80% إلى ما يقرب من 100%.

إلى جانب انحياز الركيزة السلبي القابل للبرمجة، تعمل هذه الطاقة الحركية العالية على دفع الخلط بين السطوح الذرية على نطاق -مما يؤدي إلى التصاق فائق للأغشية ومسامية عمودية صفر. تدعم بنية الغرفة تكوينات الكاثود المعيارية المتعددة- للترسيب الآلي لطبقات -مفردة ومتعددة-طبقات نانوية-، وطلاءات متدرجة متكافئة (TiN، TiAlN، CrN، TiCN).

معدل التأين العالي:يعمل التبخير الكاثودي المباشر على تحويل التدفق المعدني إلى أيونات عالية الكثافة-، مما يؤدي إلى تعزيز الهياكل الحبيبية الكثيفة بدون -فراغات دقيقة.

التوجيه المغناطيسي النشط:تقوم الملفات الكهرومغناطيسية القابلة للبرمجة بمسح بقعة القوس عبر وجوه الهدف، مما يمنع الحفر الموضعي ويزيد من استخدام المواد المستهدفة بنسبة تتجاوز 60%.

التحكم الديناميكي بالغاز:تنظم وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFCs) ذات الحلقة المغلقة - حقن الغاز التفاعلي (N2، O2، C2H2) من خلال ردود فعل الضغط الجزئي في الوقت الحقيقي.

تعاون متعدد-المصادر:تستوعب جدران الغرفة تخطيطات مستهدفة مختلطة، مما يسمح بالترسيب المتسلسل غير المنقطع لطبقات السيراميك متعددة المكونات-في دورة تفريغ واحدة.

مجموعة التخشين والجذور:مضخة دوارة ذات محرك مباشر- مقترنة بمنفاخ Roots عالي الإزاحة- للتعامل مع أحمال الغاز العالية أثناء المعالجة التفاعلية.

مرحلة الفراغ العالي:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 لتر/ثانية) مقترنًا عبر صمام بوابة هوائي عالي التوصيل-.

أجهزة الفراغ:إعداد مقياس Pirani المتشابك والكاثود البارد المزدوج-يتراوح الضغط الإجمالي لمراقبة الضغط الجوي من الغلاف الجوي إلى 10^-6 باسكال.

تسرب النزاهة:تحافظ الفلنجات المطاطية المغطاة بالماء-التبريد المغلف بالماء- على معدلات تسرب النظام أقل من 1.0 × 10^-9 Pa*m3/s.

المواد المستهدفة الكاثود
المعادن والسبائك الانتقالية:تيتانيوم (Ti)، كروم (Cr)، زركونيوم (Zr)، ألومنيوم (Al)، تيتانيوم-ألومنيوم (TiAl 50/50، 33/67)، تنجستن (W).

غير-المعادن:-جرافيت (C) عالي النقاء للألماس-مثل طبقات الكربون (DLC) والكربيد.

الركائز الصناعية
فولاذ وكربيدات الأدوات:الصلب-عالي السرعة (HSS)، والكربيدات الأسمنتية (WC-Co).

السبائك الهيكلية:الفولاذ المقاوم للصدأ الأوستنيتي/المارتنسيتي، وسبائك التيتانيوم (TC4)، والسبائك الفائقة القائمة على النيكل- (Inconel).

أدوات القطع الدقيقة:ترسيب TiAlN وAlTiN على المثاقب والمطاحن الطرفية ومواقد التروس لرفع صلابة السطح إلى 3300-3500 فولت ورفع مقاومة الأكسدة الحرارية حتى 800 درجة.

هندسة السيارات:طبقات طلاء منخفضة -مقاومة للتآكل-على مكونات حقن الوقود، وحلقات المكبس، والغمازات.

قوالب ويموت:ترسيب نيتريد الكروم (CrN) على قوالب حقن البلاستيك لمنع تآكل المواد اللاصقة واللحام الدقيق والتصاق الراتنج.

حجم الغرفة:تعديلات هندسية مخصصة للألواح المعمارية كبيرة الحجم أو-دوامات الأدوات الصغيرة ذات الإنتاجية العالية.

تهجين المصدر:تكامل مصادر القوس الكاثودي مع المغنطرون غير المتوازن (UBM) أو كاثودات HiPIMS في جسم موحد.

واجهات الأتمتة:تكامل MES في المصنع عبر بروتوكولات OPC-UA إلى جانب خيارات فتحة التحميل التلقائية.

التحقق من تسرب الهيليوم:يتم تنفيذ فحص التسرب بمطياف الكتلة على جميع اللحامات وموانع التسرب المفرغة.

تدقيق السلامة الكهربائية:اختبار عزل Hipot، وفحوصات استمرارية التأريض، و-التحقق من حلقة دائرة التوقف.

اختبار الاحتراق لمدة 72-ساعة:دورة التشغيل الجاف المستمر- لمحركات الدوران الميكانيكية، ومفاتيح تدفق المياه، وتسلسلات صمامات PLC قبل التفكيك.

اختبار قبول المصنع (FAT):يتم إجراؤه في-الموقع للتحقق من صحة مستويات التفريغ الأساسية، واستقرار اشتعال القوس، وتوزيع سمك خط الأساس على قسائم المعايرة.

تسليم متطلبات المنشأة:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 ميجا باسكال، 15-25 درجة)، استخلاص العادم، وانخفاض إمدادات الطاقة (ثلاثي الطور، 380 فولت/480 فولت).

التكليف الميداني:-الإشراف على الموقع بواسطة مهندسين ميدانيين ميكانيكيين وكهربائيين يغطيون عمليات المحاذاة والتوصيل والدفعات التجريبية.

تدريب المشغلين:تعليمات منظمة حول تكوين وصفة البرنامج، وإجراءات تبادل هدف الكاثود، والصيانة الوقائية للفراغ.

التشخيص عن بعد:بوابة VPN صناعية آمنة مضمنة في لوحة التحكم لقياس البرامج عن بعد ودعم استكشاف الأخطاء وإصلاحها.