معدات الأغشية الرقيقة ذات القوس الكاثودي

نظام ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) يستخدم أقواس كهربائية محلية ذات جهد منخفض وتيار عالي- لتبخير أهداف الكاثود الصلبة إلى بلازما مؤينة بالكامل. يعمل معدل التأين العالي (40%-80%) على تحفيز الترابط على المستوى الذري الكثيف-وضغط الضغط العالي، مما يتيح -ترسيبًا عاليًا للطبقات المقاومة للتآكل-على الفولاذ عالي السرعة (HSS)، وأدوات قطع الكربيد، ومكونات السيارات، والأجهزة الطبية.

كفاءة التأين العالية:يصل معدل تأين البلازما إلى 40%-80%، مما يضمن التصاق فائق للطبقة-بالركيزة.

الكاثودات المعيارية:يؤدي التغيير السريع للتجميع المستهدف إلى تقليل وقت توقف الصيانة؛ متوافق مع الكاثودات الأسطوانية المستوية والقابلة للدوران.

مغلق-حلقة التحكم في الغاز:تحافظ وحدات التحكم في التدفق الشامل MKS على ضغوط جزئية دقيقة للغاز التفاعلي للأفلام المركبة (TiAlN، TiCN).

دوران كوكبي متعدد المحاور:تضمن محركات الدوران والدوران المخصصة توحيد السُمك (±5%) عبر الأشكال الهندسية المعقدة ثلاثية الأبعاد.

التشغيل المزدوج للوضع -:يدعم تبخر قوس التيار المستمر وتكامل الرش المتحيز النبضي للبنيات المتعددة-الطبقات.

مضخات التخشين:مجموعة من المضخات الجذرية والدوارة للضخ السريع-من الغلاف الجوي إلى 10 باسكال.

مضخة فراغ عالية:مضخة توربينية جزيئية مرفوعة مغناطيسيًا (1600–3200 لتر/ثانية) تضمن ضغطًا أساسيًا خاليًا من الهيدروكربونات.

الصمامات والقياس:صمامات بوابة مفرغة هوائية عالية-تحتوي على Pirani وتأين الكاثود البارد لمنع التدفق العكسي للزيت.

[الدليل المرئي لمنتج الويب]:قم بإدراج صورة تخطيطية أو واضحة لتخطيط السباكة الفراغية، مع تسليط الضوء على المضخة التوربينية وموضع صمام البوابة الهوائية.

أهداف الكاثود القياسية (نقاوة أكبر من أو تساوي 99.95%)
المعادن الانتقالية:Ti، Cr، Zr، Al، TiAl (50/50، 33/67 النسب الذرية)، CrAl، W، Nb، Si.

السبائك والمركبات:الجرافيت (للطبقات البينية DLC)، الفولاذ المقاوم للصدأ.

توافق الركيزة والمعالجة المسبقة-.
مواد:WC-أدوات القطع المشتركة، والقواطع المخروطية، والدبابيس، وقوالب الختم، وقوالب الحقن، وسبائك التيتانيوم (الدرجة 5)، والفولاذ المقاوم للصدأ.

ما قبل-العلاج:إزالة الشحوم بالمذيبات بالموجات فوق الصوتية -والتنظيف بالقصف الأيوني في الموقع (حفر بلازما Ar⁺) داخل الحجرة قبل الترسيب.

أدوات القطع والتشكيل:تعمل طبقات TiN وTiAlN وAlCrN على رفع صلابة السطح إلى 3000-3500 فولت، مما يمنع الحفر الحرارية والتآكل الكاشط.

مكونات السيارات:طبقات تقليل الاحتكاك- لحلقات المكبس، ومسامير حقن الوقود، ومكونات التروس.

يزرع الطبية:الطلاءات الصلبة TiN وZrN المتوافقة حيويًا على بدائل المفاصل العظمية والمسامير الجراحية.

الأجهزة الزخرفية:إنتاج طيف الألوان (النحاس الذهبي، والذهبي الوردي، والأسود المعدني، والرمادي التيتانيوم) من خلال ضبط الغاز التفاعلي.

هندسة الغرفة:التحميل العمودي (الحفرة-المثبتة أو الأرضية-الواقفة) أو تكوينات التحميل الأمامي الأفقي-.

تكوين المصدر:مصادر القنوات المغناطيسية ذات القوس الكاثودي المصفى (FAC) للتخلص من الجسيمات الكبيرة للإلكترونيات الضوئية أو الدقيقة.

الأتمتة:أذرع التحميل الآلية، وتكامل إرساء AGV، وبروتوكولات تسجيل بيانات MES.

كشف التسرب:اختبار مطياف كتلة الهيليوم على جميع الغرف وطبقات اللحام (أقل من أو يساوي 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).

السلامة الكهربائية:مقاومة عزل الجهد العالي-، واستمرارية التأريض، والتحقق من وظيفة تعشيق PLC.

التشغيل التجريبي (FAT):اختبار التشغيل المستمر لمدة 72-ساعة من الجفاف- بالإضافة إلى اختبار ترسيب الطلاء القياسي الذي تم تقييمه من خلال اختبار Calo (السُمك) واختبار الخدش (الالتصاق).

حزمة التوثيق:المخططات الكهربائية ومخططات P&ID وأكواد مصدر PLC وشهادات المواد وتقارير FAT.

إعداد الموقع:يتم تقديم رسومات التخطيط التفصيلية ومقاييس مياه التبريد ومواصفات توزيع الطاقة قبل 4 أسابيع من الشحن.

التكليف:التجميع الميكانيكي في الموقع-والمعايرة الفراغية وتسليم الوصفة بواسطة كبار مهندسي العمليات.

تمرين:التدريب العملي-على التعليمات التي تغطي صيانة الأجهزة، واستكشاف أخطاء الفراغ وإصلاحها، وبروتوكولات الأمان.

يدعم:تكامل برامج التشخيص عن بعد لاستكشاف أخطاء PLC وإصلاحها في الوقت الفعلي، مدعومة بمخزون قطع الغيار الإقليمي.