معدات الأغشية الرقيقة لتبخر القوس

يعمل نظام التبخر بالقوس الكاثودي هذا على تبخير أهداف الكاثود الصلبة عبر قوس كهربائي منخفض الجهد -وتيار عالي- لتوليد بلازما معدنية متأينة بالكامل. بالمقارنة مع التبخر الحراري القياسي أو الرش المغنطروني، توفر عملية PVD كثافة بلازما أعلى وطبقة فائقة - إلى -التصاق الركيزة، مصممة خصيصًا للطلاءات الصلبة الوظيفية والمقاومة للتآكل- والزخرفية.

المصادر المغناطيسية التي تمت تصفيتها:تعمل القنوات المغناطيسية الداخلية على صرف القطرات الصغيرة الموحدة بعيدًا عن تدفق البخار، مما يضمن انخفاض خشونة السطح (Ra) للأجزاء الدقيقة.

مغلق-التحكم في انحياز الحلقة: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 أم).

معدل التأين العالي:تصل كفاءة تأين البلازما إلى 40% - 80%، مما يؤدي إلى ترابط كيميائي كثيف دون مساعدة ترددات الراديو الخارجية.

تصميم الغرفة المعيارية:مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304/316L مع أسطح داخلية مصقولة كهربائيًا (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

مضخات التخشين والجذور:تعمل المضخات-المزدوجة الريشة الدوارة المقترنة بمنافيخ معززة ميكانيكية على معالجة التخشين الأولي وأحمال الغاز العالية أثناء حقن N2 أو C2H2 التفاعلي.

مضخات فراغ عالية:تحافظ المضخات الجزيئية التوربينية ذات الرفع المغناطيسي (-) (1200 - 3200 لتر/ثانية) على سرعات ضخ عالية لبخار الماء المتبقي والغازات الخفيفة.

الصمامات والقياس:صمامات بوابة هوائية، وفلنجات إغلاق مفرغة عالية الجودة ISO/CF-، وأجهزة قياس تأين الكاثود Pirani/الساخنة- مدمجة مباشرة في حلقة التعشيق PLC.

أهداف الكاثود المتوافقة
المعادن النقية:Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Ni، Ag، Mo، W

السبائك والمركبات:أهداف TiAl وCrAl وTiSi وWC والجرافيت لترسيب الكربون الشبيه بالألماس (DLC)-

مواد الركيزة
المعادن الصلبة والكربيدات:الكربيدات الأسمنتية (WC-Co)، والفولاذ-عالي السرعة (HSS)، وإدراج القطع من الفولاذ المقاوم للصدأ

أشباه الموصلات والسيراميك:رقائق السيليكون، الألومينا (Al2O3)، السيراميك الفني الهندسي

أدوات القطع والقوالب:يتم ترسيب TiN وTiAlN وCrN على المثاقب والمطاحن النهائية وقوالب الختم لزيادة صلابة السطح إلى 2500 - 3500 الجهد العالي وتقليل الاحتكاك.

مكونات السيارات:ارتداء-طبقات مقاومة ومنخفضة-للاحتكاك على حلقات المكبس، ومسامير الحاقن، وأسنان التروس.

الطلاءات الصلبة الزخرفية:طلاءات ملونة بتقنية PVD (الذهبي والذهبي الوردي والمعدن الأسود والتيتانيوم الأسود) لمساكن الأجهزة والإلكترونيات الاستهلاكية.

الأغشية الرقيقة الوظيفية:الطبقات الموصلة والعازلة للإلكترونيات الدقيقة وتغليف أشباه الموصلات.

حجم الغرفة:اختلافات حجمية متدرجة تتوافق مع هندسة الدُفعات المحددة وآثار الإنتاج.

تهجين المصدر:عمليات تكامل الكاثود- المتعددة تجمع بين مصادر القوس الكاثودي وكاثودات الرش المغنطروني غير المتوازنة (UBMS) للأفلام المتدرجة المتعددة -الطبقات.

تركيب الركيزة:رقصات كوكبية مخصصة، ومصفوفات تسخين موضعية تصل إلى 600 درجة، وتغذية طاقة مخصصة.

تكامل البرمجيات:منطق وصفة PLC المخصص، وتسجيل بيانات SCADA، وتكوينات الامتثال الصناعي.

كشف التسرب:اختبار مطياف كتلة الهيليوم على جميع الغرف وطبقات اللحام، مما يضمن معدل تسرب إجمالي يبلغ<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

فحص السلامة الكهربائية:-اختبار تحمل العزل الكهربائي العالي، وفحوصات استمرارية التأريض، والتحقق من استجابة التعشيق قبل التعبئة.

تتبع المواد:يتم تقديم تقارير اختبار المواد (MTRs) للفولاذ المقاوم للصدأ الهيكلي، وموانع التسرب المفرغة، ومكونات العزل ذات الجهد العالي.

التشغيل التجريبي قبل -الشحن:اختبار التشغيل الجاف المستمر لمدة 72-ساعة لمجموعة الضخ، ومحركات الدوران، وإمدادات الطاقة في ظل دورات محاكاة.

دليل إعداد الموقع:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 م^3/ساعة عند درجة 20 - 25)، استخلاص العادم، والقطرات الكهربائية (380 فولت/480 فولت، ثلاثي الطور، 50/60 هرتز).

التكليف والقبول:اختبار قبول المصنع (FAT) في منشأتنا؛ تم تنفيذ اختبار قبول الموقع (SAT) وتسليم العملية في-الموقع بواسطة مهندسين مقيمين.

دعم دورة الحياة:التشخيص الآمن عن بعد لشبكة VPN، وتخزين مخزون قطع الغيار (الأهداف، والدروع، والأختام)، وتدريب الفنيين المحليين على الصيانة.