معدات الأغشية الرقيقة ذات القوس الأيوني المتعدد-

يستخدم نظام الطلاء الأيوني متعدد الأقواس- هذا تبخر القوس الكاثودي لترسيب طبقات صلبة كثيفة وعالية الالتصاق- وأغشية رقيقة وظيفية. من خلال ضرب قوس -تيار عالي، وجهد منخفض-على أهداف الكاثود الصلبة، يتم تبخير المادة وتأينها على الفور في بيئة -فراغ عالية. بالاشتراك مع الغازات التفاعلية (N2، O2، أو C2H2)، يقوم النظام بتجميع طبقات الطلاء المركبة المتكافئة مباشرة على ركائز معدنية أو غير معدنية. تم تصميمها خصيصًا للتصنيع الصناعي المستمر، وتضمن البنية انتشارًا ثابتًا للقوس، وتحكمًا دقيقًا في قياس العناصر الكيميائية، وأداء دفعة متكررة من -إلى-فيلم دفعي.

تقنية قوس الكاثود المفلتر:مزود بتوجيه المجال المغناطيسي وقنوات ترشيح الجسيمات (القطيرات) الكلية- للتخلص من عيوب السطح، مما يؤدي إلى الحصول على -تشطيبات فائقة السلاسة للمكونات الدقيقة.

مغلق-حلقة التحكم في الغاز التفاعلي:تحافظ وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFCs) المرتبطة بالضغط الكلي وردود فعل الانبعاثات الضوئية على ضغوط جزئية مستقرة أثناء تخليق المركب التفاعلي.

محرك التثبيت الكوكبي متعدد المحاور:تضمن محاور الدوران والدوران المستقلة قصفًا أيونيًا موحدًا وتوزيع سماكة الطلاء عبر الأشكال الهندسية المعقدة ثلاثية الأبعاد.

السباكة الفراغية المعيارية:تعمل مشعبات -الكهربائية القياسية -المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ وفقًا لمعايير ISO على تقليل إطلاق الغازات وتبسيط فترات الصيانة الروتينية.

إمكانية تتبع بيانات الدفعة:التسجيل الآلي لضغط الغرفة، والجهد الكهربي للركيزة، وتيار القوس، ومعدلات تدفق الغاز لمراجعة الجودة الشاملة.

تم تصميم نظام التفريغ الفرعي-للتدوير السريع والتعامل القوي مع المنتجات الثانوية للعملية:

مرحلة التخشين:مضخات دوارة دوارة أو مضخات لولبية جافة مقترنة بمنافيخ Roots لتوليد -فراغ خالٍ من الزيت.

مرحلة الفراغ العالي:مضخات الانتشار المزودة بمصائد النيتروجين السائل الباردة أو المضخات الجزيئية التوربينية-عالية الإنتاجية (TMP)، يتم تحديدها بناءً على متطلبات غرف الأبحاث وأهداف وقت الدورة.

الصمامات والقياس:صمامات بوابة هوائية وصمامات عزل -عالية الموثوقية. قياس الفراغ الكامل - باستخدام أجهزة قياس التأين Pirani والكاثود الساخن المدمجة في PLC للسلامة التعشيقية.

كاثودات التبخر
المعادن النقية:سبائك Ti، Cr، Al، Zr، Cu، TiAl، الفولاذ المقاوم للصدأ.

السبائك / المركبات:أهداف ملبدة مخصصة تم تصميمها للصلابة المتخصصة ومعاملات الاحتكاك ومقاومة الأكسدة.

مواد الركيزة
فولاذ الأداة:فولاذ عالي السرعة (HSS)، وإدخالات من كربيد التنجستن، وفولاذ مصبوب للعمل على البارد/الساخن.

المعادن الهندسية:سبائك التيتانيوم، والفولاذ المقاوم للصدأ الهيكلي، والألومنيوم (باستخدام المعالجة المسبقة المناسبة-).

السيراميك الفني:السيراميك الصناعي المختار الذي يتطلب إعداد واجهة موصلة.

أدوات القطع والتشكيل
أنواع الطلاء:تين، تيان، ألتين، CrN.

تأثير الأداء:يزيد بشكل كبير من صلابة السطح (يصل إلى 3000+ جهد عالي)، ويقلل معاملات الاحتكاك، ويقاوم الأكسدة الحرارية. ثبت أنه يطيل العمر التشغيلي للمثاقب، والمطاحن النهائية، وقواطع الموقد، وقوالب الختم في ظل ظروف التصنيع ذات السرعة العالية-.

مكونات السيارات
التطبيقات:حلقات المكبس، والغمازات، وأجزاء حقن الوقود، وأجهزة الزخرفة الخارجية أو الوظيفية التي تتطلب مقاومة -للتآكل والتآكل.

الأدوات الطبية
التطبيقات:طلاءات TiN وTiCN المتوافقة حيويًا على المباضع الجراحية ومسامير العظام وزراعة الأسنان لتعزيز تخميل السطح ومتانة التآكل.

تم تصميم الأنظمة لتتناسب مع آثار التصنيع المحددة ومعايير العملية:

حجم الغرفة:أقطار وارتفاعات داخلية مخصصة مصممة خصيصًا لأبعاد الدُفعات وأوزان التركيبات.

تكوين المصدر:مجموعات هجينة من مصادر القوس وكاثودات الرش المغنطروني المستوية للبنى متعددة الطبقات والمركبات النانوية.

مستوى الأتمتة:-خلايا مستقلة شبه آلية أو خطوط إنتاج متكاملة تمامًا ومتوافقة مع أنظمة التحميل الآلية.

اختبار تسرب الهيليوم:تخضع كل غرفة مفرغة لاختبار تسرب مطياف الكتلة الصارم قبل إطلاقها في المصنع (معدل التسرب<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

السلامة الكهربائية:خزانات التحكم مصممة وفقًا لمعايير الامتثال CE / UL مع دوائر أمان متشابكة بالكامل.

اختبار قبول المصنع (FAT):يتم إجراء اختبار ما قبل الشحن- للتحقق من الضغط النهائي، وتوحيد درجة حرارة السخان، واستقرار الإشعال القوسي المستمر على مدار دورة متواصلة مدتها 24 ساعة.

إرشادات إعداد الموقع:وثائق تخطيط المرافق الشاملة التي تغطي معدل تدفق/ضغط مياه التبريد، والهواء المضغوط، وتهوية العادم، وقطرات الطاقة.

في-تشغيل الموقع:تم إرسال مهندسي العمليات والميكانيكا ذوي الخبرة لإجراء المحاذاة الهيكلية، والتحقق من تسرب الفراغ، والربط الكهربائي-، وتسليم الوصفة الأساسية.

تدريب المشغلين:التدريب العملي-الذي يغطي الصيانة الروتينية، واستبدال هدف الكاثود، واستكشاف أخطاء PLC وإصلاحها.

التشخيص عن بعد:تكامل آمن لوحدة VPN -لتحديثات البرامج في الوقت الفعلي، وتحليل المعلمات، وتشخيص أخطاء الاستجابة السريعة-.