نظام الأغشية الرقيقة -الأيونات المتعددة القوس

يستخدم نظام الأغشية الرقيقة الصناعية-الأيونات المتعددة التبخر بالقوس الكاثودي لترسيب طبقات سيراميكية ومعدنية كثيفة وعالية-الالتصاق على ركائز معدنية وسبائكية. من خلال تبخير مواد الكاثود الصلبة في بيئة مفرغة عبر أقواس كهربائية ذات تيار عالي وجهد منخفض-، يقوم النظام بتأين بخار المعدن المتفاعل مع الغازات التفاعلية (مثل النيتروجين أو الأسيتيلين أو الأكسجين) لتكوين أغشية مركبة متكافئة.

تم تصميم هذا النظام الأساسي لبيئات الإنتاج المستمر، وهو يستوعب تركيبات أدوات مخصصة للمعالجة المجمعة لأدوات القطع الدقيقة ومكونات السيارات -والأجهزة الصناعية المقاومة للتآكل.

كاثودات قوس التوجيه المغناطيسي-:تعمل المجالات المغناطيسية الحلقية المغلقة- على توجيه مسار بقعة القوس الكاثودي عبر السطح المستهدف، مما يزيد من معدلات استخدام الهدف إلى أكثر من 60% ويقلل من توليد القطيرات الكلية-.

انحياز قمع القوس السريع:تشتمل إمدادات التحيز النبضي-عالية التردد على دوائر تبريد قوسية سريعة-لمنع الأقواس الدقيقة-الموضعية من إتلاف أسطح الركيزة أثناء الترسيب التفاعلي.

بنية الترسيب ذات الوضع المزدوج-:تدعم بنية النظام التكامل السريع لكاثودات الرش المغنطروني غير المتوازنة (UMS) جنبًا إلى جنب مع مصادر القوس القياسية لترسيب الطبقة الهجينة (على سبيل المثال، الطبقات المتدرجة).

التحكم الآلي في العمليات:يقترن PLC بجهاز كمبيوتر صناعي يعمل ببرنامج تحكم قائم على الوصفة-، وضغط غرفة التسجيل، ومعدلات تدفق كتلة الغاز (MFC)، وانحياز الركيزة، وتيار القوس في الوقت الفعلي لتتبع الدفعة.

صمام فراغ هوائي:تعمل صمامات البوابة وصمامات الزاوية التي يتم تشغيلها بالهواء المضغوط على عزل أقسام الحجرة، مما يقلل من وقت توقف الصيانة ودورات الضخ{0}الأسفل.

يستخدم إخلاء النظام تكوينًا متعدد-مراحل مصمم للوصول إلى الضغط التشغيلي في غضون 15 دقيقة:

مرحلة التخشين:تعمل المضخات الميكانيكية-المزدوجة المرحلة على إزالة الهواء الجوي الأساسي حتى 10 باسكال.

المرحلة المتوسطة:تعمل منافيخ الجذور على تسريع الإزاحة الحجمية لسد نطاق الضغط المتقاطع.

مرحلة الفراغ العالي:تحقق مضخات نشر الزيت أو المضخات المبردة/الجزيئية ضغطًا أساسيًا نهائيًا يبلغ 5.0 × 10^-3 باسكال قبل ردم الغاز والتنظيف الأيوني.

النظام الفرعي لتوصيل الغاز:وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFC) متعددة القنوات-غازات معالجة ذات نقاوة عالية (Ar، N2، C2H2، O2) مع تسامح مع ثبات التدفق بنسبة +/- 1% بمقياس كامل.

أهداف الكاثود
الأهداف المعدنية:Ti، Cr، Al، Zr، TiAl (النسب الذرية 50/50، 67/33)، المرحاض، الفولاذ المقاوم للصدأ.

معيار النقاء:>= 99.99% تم صهره ولفه بالتفريغ.

مواد الركيزة
فولاذ الأداة:H13، SKD11، M2، D2 (معالج مسبقًا ومخفف تحت درجة حرارة ترسيب الطلاء).

كربيدات:كربيدات التنجستين الأسمنتية (WC-Co).

السبائك الهندسية:سبائك التيتانيوم (TC4)، والفولاذ المقاوم للصدأ (304/316)، وسبائك النحاس (تعتمد على التركيبات).

أدوات القطع الدقيقة:يؤدي ترسيب طلاءات TiAlN وAlCrN على المطاحن والمواقد الطرفية من كربيد التنجستن الأسمنتي إلى تحقيق صلابة سطحية تبلغ 3300 - 3500 الجهد العالي. تُظهر بيانات التحقق الميداني زيادة بمقدار 2.5 مرة في عمر تآكل الأداة في ظل ظروف المعالجة الجافة عالية السرعة.

قوالب ويموت:تصلب السطح لقوالب حقن البلاستيك H13 وSKD11 وقوالب الختم لمنع التعب الحراري، وتآكل المواد اللاصقة، والتهيج.

مكونات السيارات:احتكاك منخفض، -مقاوم للتآكل (الماس-مثل الكربون) وطلاءات CrN يتم تطبيقها على حلقات المكبس، ومسامير حاقن الوقود، ورافعات الصمامات لتقليل معاملات الاحتكاك الحدودي إلى أقل من 0.1.

الأجهزة الوظيفية:تشطيبات زخرفية ومقاومة للتآكل-(TiCN، ZrN) للتركيبات الصحية الصناعية والمكونات الميكانيكية المتطورة-.

تتكيف التكوينات الهندسية مع قيود المنشأة وهندسة المكونات:

هندسة الغرفة:حفرة عمودية-نوع تحميل أو فتحة تحميل أمامية أفقية-تكوينات باب التحميل.

تركيبات القفز:تركيبات كوكبية أو دوران فردي أو تركيبات أقمار صناعية مخصصة مصممة لتناسب الأشكال الهندسية المعقدة لقطع العمل ثلاثية الأبعاد.

ضخ اختيار المكدس:خيارات التكوين لحزم نشر الزيت، أو الجزيئات التوربينية، أو المضخة المبردة اعتمادًا على معايير غرف الأبحاث وأهداف وقت تعطل الضخ-.

تكامل الغاز والطاقة:محولات كهربائية مخصصة لمعايير الشبكة الإقليمية (على سبيل المثال، 480 فولت/60 هرتز، 415 فولت/50 هرتز) والتكامل مع أنظمة تنقية العادم المركزية من جانب العميل.

يخضع كل نظام ترسيب للتحقق الصارم من الجودة قبل الإرسال:

كشف تسرب الهيليوم:تم إجراء اختبار تسرب الهيليوم بمطياف الكتلة على جميع غرف التفريغ وطبقات اللحام (معدل التسرب<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

التحقق من السلامة الكهربائية:مقاومة العزل، واستمرارية التأريض، واختبارات تحمل العزل الكهربائي ذات الجهد العالي- المتوافقة مع المعايير الكهربائية CE/IEC.

التشغيل الجاف الوظيفي:دورة جافة مستمرة لمدة 72 ساعة لآليات الدوران الميكانيكية، والصمامات الهوائية، وأجهزة استشعار تعشيق مياه التبريد.

اختبار قبول العملية:يتم تنفيذ عينة طلاء في منشأة التصنيع للتحقق من تجانس سماكة الفيلم وصلابته والتصاقه (اختبار الخدش / المسافة البادئة روكويل).

إرشادات إعداد الموقع:يتم تسليم وثائق تخطيط المنشأة الشاملة التي توضح بالتفصيل متطلبات التحميل على الأرضية ومواقع قنوات العادم وأبعاد مشعب المياه ونقاط التوزيع الكهربائية قبل 4 أسابيع من الشحن.

التكليف:يتم التثبيت في الموقع-ومعايرة الفراغ والربط الكهربائي-بواسطة مهندسي الخدمة الميدانية.

تسليم وصفة العملية:تم تطوير وصفات الطلاء الأساسية (TiN وTiAlN) واختبارها ونقلها أثناء قبولها في المصنع أو -التشغيل في الموقع.

قطع الغيار والتشخيص:وحدة التشخيص عن بعد مدمجة في PLC لاستكشاف الأخطاء وإصلاحها بسرعة، مدعومة بالتخزين المحلي للأختام المهمة، وأهداف الكاثود، ولوحات الحماية.