معدات ترسيب الأيونات المتعددة القوسية

يعمل نظام ترسيب الأيونات الصناعية المتعددة- على توليد أغشية رقيقة كثيفة وعالية الالتصاق-من خلال تبخر القوس الكاثودي بتيار عالي-وجهد منخفض-. يتم تبخير المواد الصلبة المستهدفة (الكاثودات) في جو غازي تفاعلي (مثل N2 أو O2 أو C2H2) لتصنيع طبقات الطلاء المركبة المتكافئة. تم تصميم هذا الجهاز لمعدلات تأين عالية تتجاوز 80%، وينتج طبقة استثنائية من -إلى-قوة ربط الركيزة المناسبة لبيئات التحميل الميكانيكية القاسية.

تقنية القوس المغناطيسي المفلتر:تعمل الملفات المغناطيسية المدمجة على تحويل الجزيئات والقطرات الكبيرة- بعيدًا عن تيار الركيزة، مما يؤدي إلى إنتاج أسطح خالية من القطرات- فائقة النعومة- للحصول على بصريات وأدوات قطع دقيقة.

مغلق-حلقة التحكم في تدفق الغاز:تنظم وحدات التحكم في التدفق الجماعي MKS الضغط الجزئي للغاز التفاعلي ضمن عتبات ثبات +/- 0.1 sccm أثناء مراحل الترسيب التفاعلي.

إدارة درجة حرارة الركيزة:تحافظ بنوك السخان المشع القابلة للبرمجة جنبًا إلى جنب مع تبريد غاز الأرجون الخلفي على الميزانيات الحرارية للركيزة بين 150 درجة مئوية و600 درجة مئوية.

وصفات العملية الآلية:بنية تحكم قائمة على PLC- تنفذ بروتوكولات ترسيب متعددة-من التنظيف الأيوني، وحفر الطبقات البينية المتدرجة، إلى الطلاء الوظيفي الطرفي.

مضخة التخشين:مجموعة منفاخ الجذور والمضخة الميكانيكية الدوارة (خط الأساس Leybold / Edwards).

مضخة فراغ عالية:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

التقييم والأنابيب:تم اختبار صمامات بوابة التفريغ الهوائية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ-، وصمامات زاوية الهواء، والمطاط الصناعي-فلنجات KF/ISO محكمة الغلق-من خلال قياس طيف كتلة الهيليوم (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

مراقبة الضغط:توفر أجهزة قياس التأين Pirani والكاثود البارد المدمجة -تعليقات في الوقت الفعلي عبر الغلاف الجوي إلى نطاقات تفريغ عالية جدًا-.

المواد المستهدفة:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

مواد الركيزة:

• الكربيدات الأسمنتية (WC-Co)
• الفولاذ-عالي السرعة (HSS)
• سبائك الفولاذ (SKD11، 316L، 4140)
• سبائك التيتانيوم (Ti-6Al-4V)
• السيراميك الهندسي والسبائك الفائقة المقاومة للحرارة-.

أدوات القطع والتشكيل:ترسيب طبقات الطلاء TiAlN، وAlCrN، وTiCN على المطاحن النهائية، والمدخلات، والمواقد، وقوالب الختم لزيادة صلابة السطح إلى 3200 فولت عالي ومقاومة التآكل الكاشط.

مكونات السيارات:ترسيب الكربون الصلب (DLC) وCrN على حلقات المكبس ومسامير حقن الوقود وأعمدة الكامات لتقليل معاملات الاحتكاك إلى أقل من 0.1 في ظروف التشغيل الجافة.

يزرع الطبية:طبقات طلاء متوافقة حيويًا من TiN وZrN على مفاصل الركبة والورك- المصنوعة من الكروم والتيتانيوم والكوبالت، مما يقلل من ترشيح الأيونات المعدنية وتوليد الحطام.

أجهزة الفضاء:طبقات عازلة مقاومة للأكسدة-لشفرات التوربينات ومجموعات التثبيت التي تعمل عند عتبات حرارية مرتفعة.

هندسة الغرفة:الحفرة العمودية-من النوع، أو التحميل الأمامي الأفقي-، أو ممر الباب المزدوج-من خلال التكوينات المخصصة لتخطيطات أرضية المتجر-الموجودة.

تكامل المصدر:تكوينات هجينة تدمج مصادر القوس الكاثودي مع كاثودات الرش المغنطروني غير المتوازنة (Ums) داخل غرفة واحدة.

القفز والتركيبات:تركيبات أدوات مخصصة للدوران الكوكبي أو المزدوج- تم تصميمها عبر محاكاة CAD/FEM لأشكال هندسية محددة للمكونات (على سبيل المثال، قوالب البثق الطويلة أو البراغي الجراحية المعقدة).

معايير إدارة الجودة:تم تصميمها وتصنيعها واختبارها وفقًا لمعايير إدارة الجودة ISO 9001:2015 وأنظمة الإدارة البيئية ISO 14001.

الفضاء والتتبع الطبي:تتماشى ضوابط العمليات وبروتوكولات التوثيق بشكل كامل مع متطلبات NADCAP AC7102 (المعالجة الحرارية/تحسين السطح) عند الطلب.

تسرب النزاهة:يخضع كل وعاء مفرغ لاختبار التسرب بمطياف كتلة الهيليوم قبل علامة التجميع-.

السلامة الكهربائية:-اختبار مقاومة عزل الجهد العالي وفحوصات استمرارية التأريض المتوافقة مع معايير CE / IEC.

تشغيل-الاختبار:اختبار التحمل لمدة 72-تجفيف مستمر-لمحركات الدوران الميكانيكية، ومفاتيح تدفق تبريد الماء، وأنظمة التعشيق PLC.

مخرجات التوثيق:شهادات اختبار مطحنة المواد (MTC)، وشهادات اختبار التسرب الفراغي، وحزم التخطيط الكهربائي، وتقارير معايرة أجهزة الاستشعار التي يمكن تتبعها من NIST.

إرشادات إعداد الموقع:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 م^3/ساعة)، نطاقات درجة الحرارة المحيطة، وتهوية العادم، وانخفاض الطاقة الكهربائية (3 مراحل، 380 فولت/480 فولت، 50/60 هرتز).

خدمات التكليف:يتم تنفيذ التحديد الميكانيكي للمواقع-في الموقع، وتكامل الأنابيب المفرغة، والتوصيل الكهربائي، وتحسين الوصفة الأساسية بواسطة كبار مهندسي الخدمة الميدانية المقيمين.

تدريب المشغلين:تدريب مكثف في الموقع لمدة 5 أيام يتناول الصيانة الروتينية، واستكشاف أخطاء التفريغ وإصلاحها، وبروتوكولات استبدال الهدف، وضبط المعلمات لهياكل أفلام محددة.

مخزون قطع الغيار:يتم تخزين مكونات التآكل الحرجة (عوازل الكاثود، ودروع الفضاء الداكن، والأختام الديناميكية، ومصفوفات الخيوط) إقليميًا لإرسالها في غضون 48 ساعة.