أيون-معدات التبخير بالفراغ المساعدة

يدمج نظام التبخر الفراغي المساعد -الأيوني-مصادر تبخر حرارية أو شعاعية إلكترونية-عالية مع مصدر أيون هالة من النوع-نوع كوفمان أو النهاية-. من خلال قصف الغشاء المتنامي بالغاز المتأين (Ar أو O2) أثناء الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، ينقل النظام الطاقة الحركية إلى الذرات، مما يؤدي إلى قمع البنية المجهرية العمودية ومنع امتصاص الرطوبة في الأغشية الرقيقة الضوئية والعازلة للكهرباء.

تم تصميم النظام من أجل تكامل غرف الأبحاث والإنتاج المستمر-في نوبات عمل متعددة، بدءًا من آثار البحث والتطوير (غرف 300 مم) إلى الخطوط الصناعية عالية الإنتاجية- (تكوينات الباب المزدوج-والدوران الكوكبي بمقدار 900 مم).

بالقرب من-الكثافة الظاهرية:تعمل حركة سطح adatom المرتفعة على التخلص من مسامية الغشاء المرئي وتزيد من الصلابة الميكانيكية.

ضبط الإجهاد الجوهري:تعمل طاقة شعاع الأيونات القابلة للتعديل على تحييد الإجهاد الميكانيكي، مما يمنع التصفيح على المداخن العازلة السميكة.

معالجة الميزانية-الحرارية-المنخفضة:يتيح التكثيف المعتمد على الزخم-طلاء عالي الأداء-على ركائز البوليمر الحساسة لدرجة الحرارة-بدون تشويه حراري.

أتمتة الوصفة:يتم التحكم في -PLC في أقفال التفريغ المتداخلة وتسلسل المضخة-من خلال لوحة اللمس الصناعية -HMI مع تسجيل البيانات.

مرحلة التخشين:مضخة ميكانيكية- ذات ريشة دوارة مزدوجة المرحلة مقترنة بمنفاخ جذور (سرعة 150 لتر/ثانية) للتقاطع السريع.

مرحلة الفراغ العالي:مضخة توربينية جزيئية يتم رفعها مغناطيسيًا (1600 لتر/ثانية) مدعومة بمضخة تمرير جافة خالية من الزيت- للتخلص من التدفق العكسي للهيدروكربون.

الخيار المبرد:مصيدة النيتروجين السائل الباردة وتكامل مضخة التبريد من أجل الضغط الجزئي لبخار الماء-.

قياس الفراغ:تقاطع أجهزة قياس -Pirani وCold Cathode للحصول على ردود فعل في الوقت الفعلي-من الغلاف الجوي إلى 10^-7 Pa.

مواد التبخير
أكاسيد:SiO2، TiO2، Ta2O5، Nb2O5، Al2O3

الفلوريدات:إم جي إف 2، لا إف 3

المعادن:آل، حج، الاتحاد الأفريقي، تي، الكروم

توافق الركيزة
الركائز البصرية:نوافذ منصهرة من السيليكا، N-BK7، والسيليكون، والجرمانيوم، وسيلينيد الزنك.

رقائق أشباه الموصلات:100 مم إلى 300 مم من السيليكون ورقائق أشباه الموصلات المركبة.

البوليمرات:أفلام PET وPI (بوليميد) وPMMA تستخدم معلمات IAD ذات درجة حرارة منخفضة.

البصريات الدقيقة:الطلاءات المضادة-للانعكاس (AR)، ومرايا الليزر، ومرشحات تمرير النطاق الضيقة التي تتطلب مقاومة للرطوبة.

الالكترونيات الدقيقة:أقطاب البوابة المعدنية وطبقات الالتصاق وحواجز التخميل في عبوات أشباه الموصلات.

الإلكترونيات الضوئية:موصلات أكسيد موصل شفاف (TCO) وطبقات تغليف حاجز رطوبة OLED-.

هندسة الغرفة:تصميمات مستطيلة أو أسطوانية مصممة خصيصًا لقيود جدار غرف الأبحاث.

التكامل-المتعدد المصادر:تستوعب أجهزة التبخير المشترك-ما يصل إلى ثلاثة مدافع شعاعية E- وأربعة قوارب حرارية.

في-منافذ القياس في الموقع:منافذ تكامل الحافة لأجهزة قياس القطع الناقص الطيفية أو أنظمة المراقبة البصرية.

مستوى الأتمتة:يتم إنشاء-أبحاث نصف آلية أو أشرطة الكاسيت بشكل آلي بالكامل-لمعالجة-رقاقات الكاسيت.

كشف التسرب:اختبار مطياف كتلة الهيليوم في كل غرفة مع حد رفض صارم <1 × 10^-9 Pa*m^3/s.

التحقق من النظافة:تم إجراء فحص محلل الغاز المتبقي (RGA) قبل الشحن-للتحقق من عدم وجود أي هيدروكربونات عضوية.

نسخ النظام-في:اختبار التشغيل الجاف المستمر لمدة 72-ساعة للمحركات الميكانيكية ومشعبات التبريد والأقفال الكهربائية.

التوثيق:شهادات اختبار مطحنة المواد (MTRs)، والخطط الكهربائية، وتقارير اختبار قبول المصنع (FAT).

إعداد الموقع:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 م^3/ساعة)، والهواء الجاف النظيف (CDA)، والعادم.

التكليف:نشر الخدمة الميدانية للتسوية الميكانيكية، وتوصيل المرافق، ومعايرة التفريغ، وإيقاف الوصفة-.

تدريب المشغلين:برنامج في الموقع لمدة 5-يغطي التشغيل والصيانة الوقائية واستكشاف الأخطاء وإصلاحها وأقفال السلامة.

قطع غيار:يتم تخزين عناصر التآكل الحرجة (الشعيرات، وبلورات QCM، والأختام، والمحامل الجزيئية التوربينية) على المستوى الإقليمي.