نظام الترسيب الأيوني المتعدد القوس

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >تأين بنسبة 80% من مادة الكاثود الصلبة، مما يؤدي إلى قصف أيونات عالية الطاقة-في واجهة الركيزة للحصول على التصاق فائق للفيلم مقارنةً بالرش المغنطروني.

تحتوي الغرفة المفرغة المصنوعة من الفولاذ -المزدوجة الجدران-من الفولاذ المقاوم للصدأ على مصادر قوسية معيارية ومضخة إدارة دورة آلية يتم التحكم فيها بواسطة PLC-أسفل،-حفر بلازما في الموقع، وتوصيل الغاز التفاعلي، وترسيب متعدد-طبقات.

معدل التأين العالي:يقلل من تصفيح الفيلم عن طريق القصف الأيوني الكثيف.

استقرار القوس المتحكم فيه:تعمل المشغلات القابلة للبرمجة وتنظيم تيار الحلقة المغلقة- على منع تكوين الجسيمات الكبيرة (القطيرة) ومنع تسمم الهدف تحت الغازات التفاعلية (N2، C2H2، O2).

مصادر القوس المعياري:تتكيف مواضع الجوانب والأبواب مع الأشكال الهندسية المعقدة للأدوات ثلاثية الأبعاد لتوزيع سمك موحد.

انحياز الركيزة النبضي:تعمل نبضات الجهد المتزامنة على تصميم الإجهاد المتبقي وصقل الحبوب والصلابة الدقيقة.

مراحل دوران الخدمة الشاقة-:تدعم التركيبات الكوكبية الأحمال المجمعة التي تصل إلى 500 كجم تحت الأحمال الحرارية والفراغية العالية.

التخشين والجذور:تعمل المضخات الحلزونية الجافة متعددة المراحل المقترنة بمنافيخ Roots على منع التلوث الهيدروكربوني وصولاً إلى ضغوط الانتقال.

فراغ عالي:تحافظ المضخات التوربينية الجزيئية أو الانتشارية على -ضغط قاعدي عالي جدًا.

الملاءمة والقياس:مصائد باردة اختيارية من النيتروجين السائل؛ مجموعة واسعة من أجهزة القياس -البيراني/الكاثود البارد.

أهداف الكاثود:معادن نقية (Ti، Cr، Al، Zr، Mo، W) وأهداف السبائك (TiAl، TiSi، CrAl، WC-Co).

مواد الركيزة:الفولاذ عالي السرعة (HSS)، وإدراج الكربيد، وفولاذ أدوات العمل الباردة/الساخنة (SKD11، H13)، والفولاذ المقاوم للصدأ، وسبائك التيتانيوم.

ما قبل-العلاج:التنظيف المائي بالموجات فوق الصوتية يليه-Ar+ في الموقع أو القصف الأيوني المعدني لإزالة الأكاسيد الأصلية.

أدوات القطع:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >صلابة السطح 3000 HV ومقاومة الأكسدة.

قوالب ويموت:طبقات واقية على قوالب الحقن وقوالب الختم لمنع التآكل والتآكل.

السيارات:طلاءات DLC وCrN على حلقات المكبس والتروس ومسامير الحاقن لتقليل معاملات الاحتكاك.

الأجهزة الطبية:طلاءات TiN/TiCN المتوافقة حيويًا على الأدوات الجراحية والمزروعات.

أبعاد الغرفة وتخطيط المنفذ:منافذ مخصصة لمراقبة الحجم والانبعاثات البصرية (OEM).

المولدات:العلامات التجارية المحددة لإمدادات الطاقة من قبل العميل-أو تكوينات الانحياز-النبضية المتخصصة.

الترشيح:مجالات توجيه مغناطيسية ومرشحات جسيمات كبيرة لتشطيبات بصرية/إلكترونية خالية من القطرات.

الأتمتة:تكامل SCADA واتصال قاعدة بيانات SQL لتسجيل بيانات Industry 4.0.

اختبار التسرب:اختبار مطياف كتلة الهيليوم على جميع اللحامات (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

السلامة الكهربائية:مقاومة العزل، والتأريض، والتحقق من التعشيق وفقًا لمعايير CE/NFPA.

التشغيل الجاف الوظيفي:اختبار دورة ميكانيكية وصمام مستمر لمدة 72 ساعة.

التحقق من العملية:اختبار القسيمة المرجعية لصلابة النانو والتصاق الخدش.

التثبيت المسبق-:تم توفير مخططات تخطيط المرافق للطاقة والمياه والعادم والهواء المضغوط.

التكليف:يتم الإعداد على-الموقع والتشغيل التجريبي تحت إشراف مهندسي المصنع.

تمرين:التدريب العملي-على التشغيل واستبدال الكاثود والتدريب على الصيانة الروتينية.

رعاية دورة الحياة:تأمين تشخيص VPN عن بعد وتوفير قطع الغيار المحلية.