معدات معالجة الأغشية الرقيقة المتعددة -PVD

معدات معالجة الأغشية الرقيقة المتعددة -PVD عبارة عن منصة متكاملة للترسيب الفراغي تم تصميمها للجمع بين العديد من تقنيات تصنيع الأغشية الرقيقة-بما في ذلك RF/DC Magnetron Sputtering، والتبخر الحراري، وتبخر شعاع الإلكترون-ضمن بنية فراغية موحدة.

يعمل هذا النظام على التخلص من التلوث الناجم عن الكسر الفراغي بين طبقات العملية المختلفة، مما يتيح ترسيب الطبقات المعقدة المتعددة- من الأغشية المعدنية والعازلة وأشباه الموصلات دون التعرض للعوامل البيئية المحيطة. تم تكوينه لمجموعات البحث والتطوير المعملية أو خط الإنتاج التجريبي-، وهو يستوعب ركائز يصل قطرها إلى 300 مم أو ناقلات مخصصة.

بنية الفراغ المعيارية:تعمل غرف المعالجة المستقلة المقترنة عبر صمامات البوابة على منع التلوث المتبادل بين الرش التفاعلي والتبخر الفراغي العالي-.

في-نقل الركيزة بالتفريغ:تحافظ أذرع النقل المغناطيسية أو الخطية على فراغ عالٍ (< 10^-4 Pa) during inter-chamber sample movement.

سريع-تغيير حواف المصدر:يتم تركيب كاثودات الرش وبوتقات الشعاع الإلكتروني- على حواف CF القياسية للصيانة السريعة واستبدال الهدف.

الاصطياد المبرد المتقدم:تعمل مصائد النيتروجين السائل المدمجة ومصائد مايسنر على تقليل ضغط بخار الماء المتبقي داخل الحجرة.

مغلق-مراقبة سمك الحلقة:توفر مستشعرات التوازن الدقيق لبلورات الكوارتز المزدوجة (QCM)-معدل ترسب حقيقي للوقت وتعليقات السُمك المرتبطة مباشرةً بتنظيم مصدر الطاقة.

مرحلة التخشين:مضخات الزيت-الحرة التمرير مقترنة بمنافيخ جذور متعددة-مراحل لمنع تدفق الهيدروكربونات-الراجعة.

مرحلة الفراغ العالي:Backed by magnetically levitated turbo-molecular pumps (>1200 لتر/ثانية للنيتروجين) ومضخات تبريد اختيارية لإنتاجية بخار الماء العالية-.

تنظيم الضغط:مقاييس باراترون للسعة لقياس الضغط المطلق بشكل مستقل عن أنواع الغاز، مقترنة بصمامات خانقة آلية للتحكم الدقيق في ضغط الغاز أثناء العملية (0.1 باسكال إلى 10 باسكال).

كشف التسرب:تم اختبار تسرب الهيليوم-بنسبة < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s قبل اختبار قبول المصنع (FAT).

الأهداف الموصلة:Au، Ag، Cu، Al، Ti، Cr، ITO، AZO، Mo، W، NiCr.

المواد العازلة:SiO2، TiO2، Al2O3، Ta2O5، HfO2 (عن طريق الرش التفاعلي أو الشعاع الإلكتروني -).

أنواع الركيزة:
رقائق أشباه الموصلات (السيليكون، زرنيخيد الغاليوم، فوسفيد الإنديوم).

الفراغات الضوئية (منصهر السيليكا، BK7، الياقوت).

شبكات مرنة وصفائح معدنية رقيقة (بوليميد، رقائق الفولاذ المقاوم للصدأ).

الإلكترونيات الضوئية:ترسيب طبقات الأكسيد الموصل الشفاف (TCO) ومجموعات المرشحات الضوئية المضادة للانعكاس (AR).

تصنيع جهاز أشباه الموصلات:تكوين الاتصالات الأومية، وحواجز شوتكي، وطبقات البذور للطلاء الكهربائي، وحواجز الانتشار (Ti/TiN).

تصنيع أجهزة الاستشعار:مقاييس الانفعال المعدنية ذات الأغشية الرقيقة-، وعناصر التسخين الدقيقة، ومحولات الطاقة الكهرضغطية.

البحث والتطوير المتقدم:تركيب استكشافي للأغشية الرقيقة-متعددة الطبقات-لمكونات الحوسبة الكمومية ومواد تخزين الطاقة الجديدة.

هندسة الغرفة:توسيع أبعاد الغرفة للركائز الدفعية غير القياسية أو كبيرة الحجم.

تكامل المصدر:نسب التخصيص المخصصة بين مسدسات الرش المغنطروني وجيوب تبخر شعاع الإلكترون.

التحيز الاخرق:خيارات انحياز RF/DC للركيزة لتكثيف الفيلم والتحكم في الضغط.

تحميل-تأمين التكامل:إضافة غرف قفل التحميل التلقائي-للحفاظ على سلامة التفريغ العالية أثناء دورات التحميل ذات الإنتاجية العالية-.

تتبع المواد:يتم توفير شهادات اختبار المطاحن (MTCs) لجميع المكونات-الجانبية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ والإطارات الهيكلية.

جمعية غرف الأبحاث:تم إجراء التكامل النهائي والتحقق من عدد الجسيمات- في بيئة غرف الأبحاث من الفئة ISO 6.

اختبار قبول المصنع (FAT):اختبار التفريغ المستمر لمدة 72-ساعة، واختبار التسرب من خلال قياس الطيف الكتلي لمحلل الغاز المتبقي (RGA)، وتشغيل ترسيب الفيلم الأساسي للتحقق من تجانس السُمك.

دليل إعداد الموقع:Comprehensive utility mapping provided pre-shipment, detailing chilled water flow rates (>15 لتر/دقيقة)، والهواء المضغوط، وخطوط غاز المعالجة (Ar، O2، N2 بنقاء 99.999٪)، ومتطلبات الحمل الكهربائي (3 مراحل 380 فولت / 480 فولت).

التكليف:يتم إجراء التثبيت في الموقع-والمعايرة الفراغية والاختبار المشترك-بواسطة مهندسي الخدمة الميدانية في المصنع.

تدريب المشغلين:تدريب منظم في الموقع لمدة 5-أيام يغطي الصيانة الروتينية، وبروتوكولات أمان الفراغ، وبرمجة الوصفات، واستكشاف الأخطاء وإصلاحها الأساسية.