معدات ترسيب الفراغ المركب PVD

تدمج منصة الترسيب الفراغي المركبة PVD الصناعية تقنيات ترسيب متعددة في بيئة غرفة واحدة لترسيب أغشية رقيقة موحدة ومتعددة{0}معدنية أو سبائكية أو عازلة للكهرباء. تستوعب البنى القياسية معالجة الدفعات للركائز التي يصل حجمها إلى 400 مم × 400 مم، مع توفر الأشكال الهندسية المخصصة للغرفة للتعامل مع المكونات -إلى-اللف أو ثلاثية الأبعاد.

التكامل-المتعدد المصادر:يجمع بين التبخر الحراري ورذاذ المغنطرون في دورة سفلية لمضخة واحدة-، مما يمنع أكسدة الواجهة ويقلل وقت المعالجة.

مغلق-التحكم في سمك الحلقة:واجهات مباشرة مع مستشعرات التوازن الدقيق لبلورات الكوارتز (QCM) وأنظمة المراقبة البصرية للتحكم في معدلات الترسيب في الوقت الفعلي.

بنية الغرفة المعيارية:تتيح المنافذ ذات الحواف إمكانية التعديل التحديثي السريع لمصادر التبخر الإضافية أو المسدسات الأيونية دون إعادة تشكيل هيكل الحجرة الرئيسية.

القدرة على انحياز الركيزة:توفر مصادر الطاقة المتحيزة RF/DC تنظيفًا بالقصف الأيوني قبل الترسيب، مما يزيد من التصاق الغشاء على الركائز المعدنية والسيراميكية الصعبة.

تسلسل العمليات الآلي:تتحكم إدارة الوصفة التي يتم التحكم فيها بواسطة PLC- في صمامات البوابة، وأجهزة التحكم في التدفق الجماعي (MFCs)، وتصاعد الطاقة، وتشغيل الغالق للتخلص من الاختلافات التي يسببها المشغل-.

تم تصميم نظام الفراغ الفرعي لتقليل أوقات الدورة والتعامل مع أحمال إطلاق الغازات من مواد مصدر متنوعة:

مضخات التخشين والجذور:تعمل المضخات اللولبية الجافة على التخلص من مخاطر تدفق الزيت-الخلفي، وتلبية متطلبات الغرفة النظيفة ISO Class 4.

مضخات تفريغ عالية-: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 لتر/ثانية) ومضخات تبريد اختيارية لقدرة ضخ بخار الماء العالية-.

مراقبة الضغط:-تكوين مزدوج لمقياس النطاق (مقاييس Pirani للتخشين؛ ومقاييس التأين/التثبيت للفراغ العالي) متشابكة مع صمامات أمان لمنع تلوث الخيوط بالجو.

كشف التسرب:تم فحص تسرب الهيليوم-إلى حد < 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s قبل قبول المصنع.

مواد التبخير:
المعادن:آل، النحاس، تي، الكروم، ني، الاتحاد الأفريقي، حج، حزب العمال.

السبائك:أهداف NiCr وTiAl والفولاذ المقاوم للصدأ.

العوازل / الأكاسيد:SiO2، TiO2، Al2O3، ITO (عن طريق الرش التفاعلي أو تكامل شعاع الإلكترون).

توافق الركيزة:
رقائق أشباه الموصلات:السيليكون، GaAs حتى 300 مم.

الركائز البصرية:العدسات الزجاجية والكوارتز والياقوت.

اللدائن الهندسية:PI وPET وPC من خلال الإدارة الحرارية لدرجات الحرارة المنخفضة.

الركائز المعدنية:رقائق معدنية ومكونات معدنية مختومة.

الإلكترونيات الضوئية:ترسيب الأكاسيد الموصلة الشفافة (ITO) والطبقات-المتعددة-المضادة للانعكاس في لوحات اللمس ونوافذ المستشعرات.

إلكترونيات الطاقة:تكوين -ملامسات أومية منخفضة المقاومة وطبقات عازلة على السيليكون وركائز أشباه الموصلات ذات فجوة نطاق واسعة-.

الطلاءات الوظيفية:ارتداء-طبقات معدنية تزيينية ومقاومة للتآكل على أدوات التثبيت الصناعية، والغرسات الطبية، والأجهزة الاستهلاكية.

يتم تكييف تكوينات المعدات مع قيود التصنيع المحددة:

حجم الغرفة:تم التوسع من وحدات البحث والتطوير (مكعب 400 مم) إلى أنظمة الإنتاج ذات السعة العالية- (غرف أسطوانية/صندوقية مقاس 1200 مم).

تحميل-تأمين التكامل:تحميل يدوي فردي -نهاية أو تكوين قفل-تحميل مزدوج للغرفة-للحفاظ على سلامة التفريغ العالية في منطقة الترسيب الرئيسية أثناء دورات التحميل المستمرة.

الإدارة الحرارية:-مراحل الركيزة المبردة بالماء والمسخنة (حتى 600 درجة)، أو طاولات تبريد الركيزة المبردة.

واجهة التحكم:التكامل مع شبكات SCADA أو MES في المصنع عبر بروتوكولات SECS/GEM أو Modbus TCP.

تخضع كل وحدة للتحقق الصارم قبل الشحن:

اختبار سلامة الفراغ:تدقيق مستمر للكشف عن تسرب مطياف كتلة الهيليوم لمدة 48 ساعة.

اختبار السلامة الكهربائية:مقاومة العزل، وتحمل العزل الكهربائي، واختبار استمرارية التأريض المتوافق مع توجيهات السلامة CE/UL.

التشغيل الجاف الوظيفي:دورة آلية متواصلة لمدة 72 ساعة لجميع الستائر الميكانيكية، وأجهزة التحكم في التدفق الشامل، ومولدات الطاقة.

تشغيل قبول العملية:تم تنفيذ اختبار قبول المصنع (FAT) باستخدام المواد المستهدفة التي حددها العميل-للتحقق من استقرار معدل الترسيب وتوحيد السمك.

حزمة التوثيق:تسليمات هندسية كاملة بما في ذلك مخططات P&ID، والخطط الكهربائية، والبنية المنطقية لمصدر PLC، وأدلة صيانة المستخدم.

في-تشغيل الموقع:يشرف مهندسو الخدمة الميدانية على عمليات التجهيز، ووصلات غرف الأبحاث، والتحقق من صحة المرافق (مياه التبريد، وCDA، والطاقة)، ​​واختبار قبول الموقع (SAT).

تدريب المشغلين:تدريب عملي منظم-يغطي الصيانة الروتينية، واستكشاف أخطاء الفراغ وإصلاحها، وتحرير الوصفات لمهندسي العمليات.

توفر قطع الغيار:المكونات المهمة (مجموعات الختم، وبطانات التدريع، والخيوط، وبلورات QCM) مخزنة للإرسال المباشر.