معدات PVD لتبخر القوس

يستخدم نظام PVD لتبخر القوس الكاثودي الصناعي أقواسًا كهربائية ذات جهد كهربائي منخفض-التيار العالي-لتبخير أهداف الكاثود الصلبة في بيئة مفرغة. تحقق هذه الآلية معدل تأين للمعدن يتجاوز 80%، مما يضمن قوة ربط كيميائية عالية والتصاق الركيزة مقارنة بالتبخر الحراري أو رش المغنطرون القياسي.

تم تصميم النظام من أجل الإنتاج-المتواصل متعدد النوبات، وهو يدمج غرفة مفرغة من الفولاذ المقاوم للصدأ-ثقيلة الحجم، ومجموعات توجيه الكاثود المعيارية، وبنية التحكم الآلي في العمليات-المعتمدة على PLC.

كفاءة التأين العالية:يؤدي التبخير بالكاثود المباشر إلى إنتاج بلازما معدنية متأينة بالكامل لنمو الأغشية الرقيقة الكثيفة والعيوب -المتحكم فيها- عند درجات حرارة معتدلة.

خيار القوس المغناطيسي المصفى:تعمل ملفات التوجيه الكهرومغناطيسية المدمجة على تقليل قذف الجسيمات الكبيرة (القطيرات) لتوفير تشطيبات طلاء ناعمة من أجل أدوات دقيقة.

الترسيب متعدد الطبقات/التدرج-يتيح التشغيل المتزامن متعدد الكاثود- تركيب طبقات انتقالية متدرجة (على سبيل المثال، Ti/TiN/TiAlN) دون كسر الفراغ.

مغلق-التحكم في عملية الحلقة:تعمل حلقات التغذية المرتدة في الوقت الفعلي على تنظيم تدفق الغاز التفاعلي (النيتروجين والأسيتيلين والأكسجين) عبر -وحدات التحكم في التدفق الكتلي (MFCs) عالية الدقة للحفاظ على الضغوط الجزئية المستهدفة.

ضخ المكدس:تستخدم عملية التخشين الأولية مضخات دوارة ذات مرحلتين-مدعومة بمنافيخ Roots. يعتمد تحقيق الفراغ العالي-على مضخات الانتشار ذات الإنتاجية العالية-أو المضخات الجزيئية التوربينية.

الصمامات والأنابيب:تعمل صمامات الزاوية الهوائية وصمامات البوابة الكهربائية الهوائية على عزل مناطق الغرفة تلقائيًا. تستخدم المشعبات أنابيب من الفولاذ المقاوم للصدأ ذات حواف ISO/KF وCF مع أختام نحاسية مطلية بالفضة- أو حلقات Viton O-.

كشف التسرب:تعمل منافذ اختبار مطياف كتلة الهيليوم المدمجة على تمكين التشخيص حتى 10^-10 باسكال*م^3/ثانية.

مواد الكاثود المتوافقة
المعادن النقية:سبائك Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Mo، W، Ag، TiAl (على سبيل المثال، 50/50 أو 33/67 النسب الذرية).

الأهداف المركبة:TiC، CrC، WC.

توافق الركيزة
أداة الفولاذ:فولاذ عالي السرعة (M2، H13) وكربيدات أسمنتية (مدخلات WC-Co).

السبائك الهيكلية:الفولاذ المقاوم للصدأ، وسبائك التيتانيوم (TC4)، والسبائك الفائقة القائمة على النيكل-.

السيراميك الهندسي:نيتريد السيليكون والألومينا مع معالجة مسبقة موصلة.

أدوات القطع والتشكيل:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 الجهد العالي ويطيل عمر تآكل الأداة بنسبة 200% - 400%.

مكونات السيارات:طبقات مقاومة للتآكل على حلقات المكبس، والغمازات، وإبر حاقن الوقود. يخفض معامل الاحتكاك إلى 0.15 - 0.25 ضد الفولاذ.

يزرع الطبية: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

قوالب ويموت:طلاءات CrN أو DLC على قوالب حقن البلاستيك وقوالب الختم للتخلص من تآكل المواد اللاصقة وتسهيل تحرير قطع العمل.

هندسة الغرفة:الحفرة العمودية-نوع التحميل أو التحميل الأفقي الأمامي-تكوينات التحميل.

تخطيط المصدر:تم تصميم موضع الكاثود خصيصًا لهندسة قطع العمل ثلاثية الأبعاد (على سبيل المثال، قوالب البثق الطويلة أو شفرات التوربينات).

ترقيات مولد التحيز:تكامل -الوحدات الهجينة ذات النبضات المغنطرونية العالية القدرة (HIPIMS).

التكامل الآلي:واجهات التحميل الآلية وقضبان نقل التركيبات الآلية لبيئات غرف الأبحاث.

قبل اختبار قبول المصنع (FAT)، تخضع الأنظمة لما يلي:

اختبار تسرب الفراغ:التحقق من مطياف كتلة الهيليوم على جميع اللحامات والأختام.

التحقق من السلامة الكهربائية:مقاومة العزل، واستمرارية الأرض، والتحقق من منطق التعشيق المطابق لمعايير CE/UL.

النسخ الوظيفي-في:اختبار التشغيل الجاف المستمر لمدة 72-ساعة لمحركات الدوران، ومفاتيح التدفق، واتصالات PLC.

تشغيل اختبار الطلاء:تم التحقق من ترسب العينة عن طريق قياس سماكة طبقة الفوهة الكروية واختبار المسافة البادئة لـ Rockwell.

إعداد الموقع:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 م^3/ساعة، 20 - 25 درجة مئوية)، الهواء المضغوط، والتهوية، والقطرات الكهربائية (380 فولت/480 فولت، ثلاثي الطور، 50/60 هرتز).

التكليف:التثبيت في الموقع- والمعايرة الفراغية وتحسين الوصفة بواسطة كبار مهندسي العمليات.

تدريب المشغلين:التدريب العملي-على التعليمات التي تغطي الصيانة الروتينية واستبدال الهدف وتشغيل SCADA.

بعد-دعم المبيعات:الوصول للتشخيص عن بعد عبر VPN صناعي آمن؛ استجابة فنية مضمونة في غضون 24 ساعة.